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龍圖騰網獲悉中國科學院大連化學物理研究所申請的專利一種易于維護的極紫外光源液滴錫靶供應裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114675500B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210190920.9，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種易于維護的極紫外光源液滴錫靶供應裝置是由焦志潤;馬宇鑫設計研發完成，并于2022-02-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種易于維護的極紫外光源液滴錫靶供應裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種易于維護的極紫外光源液滴錫靶供應裝置。本發明包括閥體和設置于所述閥體內的聲學產生及傳播裝置，閥體的兩端分別設有第一端蓋板和第二端蓋板，所述聲學產生及傳播裝置的輸出端連接靶材腔室，所述第一端蓋板上設有與該腔室相連的小孔，所述閥體的外部可拆卸地套接有溫度調節裝置，所述第二端蓋板上連接有能夠伸入閥體的加壓管路，所述加壓管路用于向靶材腔室加壓，得到連續的錫噴射流，所述溫度調節裝置用于為閥體加熱溫度，所述聲學產生及傳播裝置用于將連續的錫噴射流變為穩定的錫液滴流，所述聲學產生及傳播裝置配套有用于為其制冷溫的主動制冷裝置。本發明在閥體的后期維護上，更加方便，可以大大縮短生產過程中的維護時間。

本發明授權一種易于維護的極紫外光源液滴錫靶供應裝置在權利要求書中公布了：1.一種易于維護的極紫外光源液滴錫靶供應裝置，其特征在于，包括閥體和設置于所述閥體內的聲學產生及傳播裝置，所述閥體的兩端分別設有第一端蓋板和第二端蓋板，所述聲學產生及傳播裝置的輸出端連接靶材腔室，所述第一端蓋板上設有與該腔室相連的小孔，所述閥體的外部可拆卸地套接有溫度調節裝置，所述第二端蓋板上連接有能夠伸入閥體的加壓管路，所述加壓管路用于向靶材腔室加壓，得到連續的錫噴射流，所述溫度調節裝置用于為閥體加熱溫度，所述聲學產生及傳播裝置用于將連續的錫噴射流變為穩定的錫液滴流，所述聲學產生及傳播裝置配套有用于為其制冷溫的主動制冷裝置；所述聲學產生及傳播裝置的輸出端為聲學傳送桿，其與靶材腔室內的液體靶材直接接觸，聲學傳送桿包括夾層與傳送桿主體，所述聲學傳送桿用于將產生的聲學振動傳到小孔附近的靶材處，從而驅動錫滴產生裝置產生穩定的錫滴；所述聲學產生及傳播裝置包括壓電陶瓷以及聲學傳送桿，所述壓電陶瓷的輸出端與所述聲學傳送桿相連，壓電陶瓷蓋板與聲學傳送桿尾部之間放置有柔性墊片，第二端蓋板將壓電陶瓷壓緊，并且之間加緩沖件進行聲音隔斷，形成的錫液滴靶的大小、間距、頻率基于調節壓電陶瓷的激勵信號來進行調節。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院大連化學物理研究所，其通訊地址為：116000 遼寧省大連市沙河口區中山路457號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。