東京毅力科創株式會社小巖真悟獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利載置臺、基板處理裝置以及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113782411B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110590771.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權載置臺、基板處理裝置以及基板處理方法是由小巖真悟設計研發完成，并于2021-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本載置臺、基板處理裝置以及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明提供載置臺、基板處理裝置以及基板處理方法。在包括載置基板的載置面的載置臺中，使該載置面的平坦度提高。一種載置臺，其用于載置基板，其中，該載置臺具有：靜電卡盤，其具有載置基板的載置面；支承構件，其支承所述靜電卡盤；以及吸收構件，其配置于所述靜電卡盤與所述支承構件之間，該吸收構件的外緣部借助緊固件與所述支承構件緊固，在所述靜電卡盤與所述吸收構件之間形成有：連接區域，其位于所述靜電卡盤的中央部，通過所述靜電卡盤與所述吸收構件相互連接而成；以及分離區域，其位于比所述連接區域靠外緣側的位置，通過所述靜電卡盤與所述吸收構件相互分離而成。
本發明授權載置臺、基板處理裝置以及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種載置臺，其用于載置基板，其中， 該載置臺具有： 靜電卡盤，其具有載置基板的載置面； 支承構件，其支承所述靜電卡盤；以及 吸收構件，其配置于所述靜電卡盤與所述支承構件之間，該吸收構件的外緣部借助緊固件與所述支承構件緊固， 在所述靜電卡盤與所述吸收構件之間形成有： 連接區域，其位于所述靜電卡盤的中央部，通過所述靜電卡盤與所述吸收構件相互連接而成；以及 分離區域，其位于比所述連接區域靠外緣側的位置，通過所述靜電卡盤與所述吸收構件相互分離而成， 其中，所述吸收構件用于吸收所述載置臺的變形或者所述載置臺的部件間公差。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號