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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利光刻機控制系統以及控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115128910B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110344764.2，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權光刻機控制系統以及控制方法是由馬鵬川;吳衛軍;楊元培設計研發完成，并于2021-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本光刻機控制系統以及控制方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種光刻機控制系統以及控制方法，其中，所述光刻機控制系統包括：整機控制系統、曝光系統、移動臺系統以及劑量曝光控制單元觸發系統，所述整機控制系統規劃曝光隊列，并將曝光隊列的參數信息下發至曝光系統和移動臺系統；所述移動臺系統根據曝光隊列的參數信息移動到指定位置，并輸出曝光信號至曝光系統；所述曝光系統根據曝光隊列的參數信息完成曝光，并輸出移動信號至移動臺系統；所述劑量曝光控制單元觸發系統用于曝光系統和移動臺系統之間的信息交互。采用所述光刻機控制系統能夠實現曝光系統和移動臺系統之間的信息直連互通，減少通訊時間，降低曝光的消耗時間，提高光刻機控制系統的產率，同時提高光刻機控制系統的可靠性。

本發明授權光刻機控制系統以及控制方法在權利要求書中公布了：1.一種光刻機控制系統，其特征在于，包括：整機控制系統、曝光系統、移動臺系統以及劑量曝光控制單元觸發系統，其中， 所述整機控制系統規劃曝光隊列，并將曝光隊列的參數信息下發至所述曝光系統和移動臺系統； 所述劑量曝光控制單元觸發系統分別與所述移動臺系統和曝光系統連接，用于所述曝光系統和移動臺系統之間的信息交互；所述劑量曝光控制單元觸發系統包括運動控制板卡、劑量控制板卡以及信息傳輸系統，所述劑量控制板卡與所述曝光系統連接，所述運動控制板卡與所述移動臺系統連接，所述信息傳輸系統分別與所述劑量控制板卡和所述運動控制板卡連接；所述信息傳輸系統包括：曝光劑量控制單元光耦驅動電路、曝光劑量控制單元光耦接收電路、曝光劑量控制單元狀態板卡、移動臺光耦驅動電路、移動臺光耦接收電路以及移動臺狀態板卡，其中，所述曝光系統輸出的移動信號傳輸至所述曝光劑量控制單元狀態板卡，并依次經所述曝光劑量控制單元光耦驅動電路和所述移動臺光耦接收電路至所述移動臺狀態板卡；所述移動臺系統輸出的曝光信號傳輸至所述移動臺狀態板卡，并依次經移動臺光耦驅動電路和曝光劑量控制單元光耦接收電路至所述曝光劑量控制單元狀態板卡； 所述移動臺系統與所述整機控制系統連接，所述移動臺系統直接根據所述曝光隊列的參數信息進行移動，或者，所述移動臺系統在被所述曝光系統輸出的移動信號觸發后，根據所述曝光隊列的參數信息進行移動，待所述移動臺系統移動到指定位置后，所述移動臺系統輸出曝光信號，且所述曝光信號經所述劑量曝光控制單元觸發系統至所述曝光系統； 所述曝光系統與所述整機控制系統連接，所述曝光系統在被所述移動臺系統輸出的曝光信號觸發后，根據所述曝光隊列的參數信息進行曝光，待所述曝光系統曝光完成后，所述曝光系統輸出移動信號，且所述移動信號經所述劑量曝光控制單元觸發系統至所述移動臺系統。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。