買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利用于自適應(yīng)對準(zhǔn)的方法和裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112955926B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980069881.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)用于自適應(yīng)對準(zhǔn)的方法和裝置是由方偉;浦凌凌設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-09-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于自適應(yīng)對準(zhǔn)的方法和裝置在說明書摘要公布了：一種將晶片圖像與參考圖像對準(zhǔn)的方法，包括：在晶片圖像上搜索目標(biāo)參考位置，以將晶片圖像與參考圖像對準(zhǔn)；并且響應(yīng)于確定目標(biāo)參考位置不存在：在晶片圖像上定義當(dāng)前鎖定位置和包圍當(dāng)前鎖定位置的區(qū)域；計算當(dāng)前鎖定位置的對準(zhǔn)評分；將當(dāng)前鎖定位置的對準(zhǔn)評分與先前關(guān)于將晶片圖像與參考圖像對準(zhǔn)而選擇的位置的存儲的對準(zhǔn)評分進(jìn)行比較；并且基于所述比較將晶片圖像與所述參考圖像對準(zhǔn)。

本發(fā)明授權(quán)用于自適應(yīng)對準(zhǔn)的方法和裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于將晶片圖像與參考圖像對準(zhǔn)的方法，其中所述晶片圖像包括第一對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，所述參考圖像包括能與所述第一對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)互鎖的第二對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，所述方法包括： 在數(shù)據(jù)庫中搜索目標(biāo)參考位置，用于將所述晶片圖像與所述參考圖像對準(zhǔn)；以及 響應(yīng)于確定所述目標(biāo)參考位置不存在于所述數(shù)據(jù)庫中： 在所述晶片圖像上識別用作所述第一對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的當(dāng)前鎖定位置和包圍所述當(dāng)前鎖定位置的區(qū)域； 計算所述當(dāng)前鎖定位置的對準(zhǔn)評分； 將所述當(dāng)前鎖定位置的所述對準(zhǔn)評分與先前關(guān)于將所述晶片圖像與所述參考圖像對準(zhǔn)而選擇的位置的存儲的對準(zhǔn)評分進(jìn)行比較；以及 基于所述比較將所述晶片圖像與所述參考圖像對準(zhǔn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。