華邦電子股份有限公司林昶鴻獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉華邦電子股份有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114582867B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202011391173.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B12/00;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法是由林昶鴻設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-12-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法在說(shuō)明書摘要公布了:一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含半導(dǎo)體基底以及埋置于半導(dǎo)體基底中的柵極結(jié)構(gòu)。柵極結(jié)構(gòu)包含柵極電極層、設(shè)置于柵極電極層之上的阻障層、以及設(shè)置于阻障層之上的半導(dǎo)體層。此半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)還包含位于半導(dǎo)體基底中且暴露出柵極結(jié)構(gòu)的阻障層和半導(dǎo)體層的氣隙。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其特征在于,包括: 一半導(dǎo)體基底;以及 一柵極結(jié)構(gòu),埋置于該半導(dǎo)體基底中且包括: 一柵極電極層; 一阻障層,設(shè)置于該柵極電極層之上;以及 一半導(dǎo)體層,設(shè)置于該阻障層之上;以及 一柵極襯層,其中該柵極電極層嵌套于該柵極襯層內(nèi),且該柵極襯層的頂面高于與該柵極電極層的頂面;以及 一氣隙,位于該半導(dǎo)體基底中且暴露出該柵極結(jié)構(gòu)的該阻障層和該半導(dǎo)體層。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人華邦電子股份有限公司,其通訊地址為:中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)中市;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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