美商新思科技有限公司R·M·魯格獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉美商新思科技有限公司申請的專利基于由人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測的失效模式應(yīng)用掩模版增強技術(shù)方案獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114222993B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202080057283.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G06F30/367;該發(fā)明授權(quán)基于由人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測的失效模式應(yīng)用掩模版增強技術(shù)方案是由R·M·魯格;J·A·希瑟洛特設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-08-03向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基于由人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測的失效模式應(yīng)用掩模版增強技術(shù)方案在說明書摘要公布了:對于光刻掩模布局驗證,針對一組設(shè)計意圖中的每個設(shè)計意圖通過標識在制造設(shè)計意圖時預(yù)期出現(xiàn)的一組失效并且記錄該組失效中的每個失效的失效模式和位置來收集訓(xùn)練數(shù)據(jù)。接下來,訓(xùn)練數(shù)據(jù)被用于訓(xùn)練機器學(xué)習(xí)模型、例如人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),以預(yù)測失效的失效模式和位置。然后,使用經(jīng)訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型來預(yù)測針對給定設(shè)計意圖的一組失效。接下來,對于每個所預(yù)測的失效,可以基于失效的失效模式選擇掩模版增強技術(shù)RET方案,并且所選擇的RET方案可以被應(yīng)用于失效的位置周圍的區(qū)域。
本發(fā)明授權(quán)基于由人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測的失效模式應(yīng)用掩模版增強技術(shù)方案在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于集成電路設(shè)計的方法,包括: 針對一組設(shè)計意圖中的每個設(shè)計意圖,通過以下項收集訓(xùn)練數(shù)據(jù): 標識在所述設(shè)計意圖被制造時預(yù)期出現(xiàn)的一組失效,并且 記錄所述一組失效中的每個失效的失效模式和位置,其中 為每個失效模式創(chuàng)建單獨的設(shè)計層,以標記屬于所述失效模式的失效的位置;以及 由處理器使用所述訓(xùn)練數(shù)據(jù)來訓(xùn)練神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),以預(yù)測針對第一設(shè)計意圖的失效的失效模式和位置,所述第一設(shè)計意圖與所述一組設(shè)計意圖中的設(shè)計意圖不同。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人美商新思科技有限公司,其通訊地址為:美國加利福尼亞州;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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