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龍圖騰網(wǎng)恭喜應(yīng)用材料公司申請(qǐng)的專利E吸盤(pán)與鋁基構(gòu)造的結(jié)合結(jié)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN109599356B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201811139451.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)E吸盤(pán)與鋁基構(gòu)造的結(jié)合結(jié)構(gòu)是由V·D·帕克荷;R·A·林德利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2018-09-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本E吸盤(pán)與鋁基構(gòu)造的結(jié)合結(jié)構(gòu)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本公開(kāi)是將靜電吸盤(pán)結(jié)合到溫度控制基部的方法。根據(jù)實(shí)施方式，在包括靜電吸盤(pán)的介電主體與溫度控制基部之間形成結(jié)合層。流孔延伸穿過(guò)介電主體并且與溫度控制基部中的流孔對(duì)準(zhǔn)。結(jié)合層還配置有開(kāi)口，開(kāi)口與介電主體和溫度控制基部中的孔對(duì)準(zhǔn)。在一個(gè)方面中，可以將多孔插塞設(shè)置在流孔內(nèi)以保護(hù)結(jié)合層。在另一方面中，將密封件設(shè)置在流孔內(nèi)以密封結(jié)合層，使其與流孔中的氣體隔離。

本發(fā)明授權(quán)E吸盤(pán)與鋁基構(gòu)造的結(jié)合結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種結(jié)合層結(jié)構(gòu)，包括： 第一主體，具有從其中穿過(guò)的第一流孔和設(shè)置于其中的電極； 第二主體，具有從其中穿過(guò)的第二流孔和設(shè)置于其中的通道；和 結(jié)合層，設(shè)置在所述第一主體與所述第二主體之間，所述結(jié)合層包括： 第一結(jié)合層，粘附到所述第一主體并且具有延伸穿過(guò)所述第一結(jié)合層的第一開(kāi)口；和 第二結(jié)合層，直接粘附到所述第一結(jié)合并且具有延伸穿過(guò)所述第二結(jié)合層的第二開(kāi)口，其中所述第二開(kāi)口具有大于所述第一開(kāi)口的第一直徑的第二直徑。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。