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龍圖騰網(wǎng)獲悉西安交通大學(xué)申請(qǐng)的專利基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115708990B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211290970.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B01D53/32；該發(fā)明授權(quán)基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置及方法是由孫昊;吳翊;榮命哲;郭運(yùn)順;龍虎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-10-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置及方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置及方法，基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置中，進(jìn)氣控制系統(tǒng)分別控制載氣、冷卻氣、含氟氣體與活性氣體的流量；電感耦合等離子體反應(yīng)器產(chǎn)生并約束熱等離子體區(qū)域，并有腔體振動(dòng)發(fā)生器固定在反應(yīng)腔外壁以防止固體粉末附著；尾氣處理系統(tǒng)由錐形粉末收集器處理固體產(chǎn)物，噴淋塔處理酸性氣體產(chǎn)物，并在檢測(cè)達(dá)標(biāo)后排放，裝置利用高頻交流電源和感應(yīng)線圈在反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生感應(yīng)耦合熱等離子體，在局部高溫作用下使含氟氣體徹底分解并與活性氣體反應(yīng)，從而抑制含氟氣體的自恢復(fù)特性。

本發(fā)明授權(quán)基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置及方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基于電感耦合熱等離子體的含氟氣體降解裝置，其包括：進(jìn)氣控制系統(tǒng)，其包括：載氣及冷卻氣輸入線路，其包括依次連接的Ar氣源、氣閥和兩個(gè)并行的質(zhì)量流量計(jì)，其中，一個(gè)質(zhì)量流量計(jì)、氣閥和Ar氣源構(gòu)成提供工作狀態(tài)載氣Ar流量Q1的工作狀態(tài)載氣輸入線路，另一個(gè)質(zhì)量流量計(jì)、氣閥和Ar氣源構(gòu)成提供冷卻氣Ar流量Q2的冷卻氣Ar輸入線路；反應(yīng)氣輸入線路，其包括依次連接的反應(yīng)氣氣源、氣閥和質(zhì)量流量計(jì)以提供活性氣體流量Q3；含氟氣體輸入線路，其包括依次連接的含氟氣體氣源、氣閥和質(zhì)量流量計(jì)以提供含氟氣體流量Q4；電感耦合熱等離子體發(fā)生器，其包括：封閉殼體，其包括反應(yīng)腔；同心陶瓷管，其設(shè)于所述封閉殼體內(nèi)，旋流環(huán)嵌設(shè)于同心陶瓷管內(nèi)，旋流環(huán)包括使氣體產(chǎn)生軸向與切向分速度的旋轉(zhuǎn)氣路，輸入的氣體氣流場(chǎng)經(jīng)由所述旋轉(zhuǎn)氣路向環(huán)形中心匯聚，同心陶瓷管的最內(nèi)層連通所述工作狀態(tài)載氣輸入線路以可控地提供工作狀態(tài)載氣Ar流量Q1，中間層的旋流環(huán)連通所述反應(yīng)氣輸入線路和含氟氣體輸入線路以可控地提供活性氣體流量Q3和含氟氣體流量Q4，外層連通冷卻氣Ar輸入線路以可控地提供冷卻氣Ar流量Q2；線圈，其設(shè)于所述封閉殼體內(nèi)，其接出且連接封閉殼體外部的高頻電源以產(chǎn)生耦合熱等離子體；腔體振動(dòng)發(fā)生器，其設(shè)于封閉殼體外壁；無(wú)害化處理系統(tǒng)，其包括：錐形粉末收集器，其位于反應(yīng)腔下端，在腔體振動(dòng)發(fā)生器作用下，固體產(chǎn)物難收集于錐形粉末收集器底部；堿液噴淋塔，其連通所述反應(yīng)腔的氣體產(chǎn)物出口，其包括：塔體，其容納堿液；砂漿泵，其將塔體下部的堿液循環(huán)抽取到上部；至少一層填料層，其間隔地層疊設(shè)于塔體內(nèi)；噴頭，其連通所述砂漿泵且設(shè)于所述填料層上方，酸性氣體產(chǎn)物被填料層吸附并與噴口處的堿霧反應(yīng)；廢氣檢測(cè)裝置，其連接堿液噴淋塔前后設(shè)置的采樣口，采樣并檢測(cè)從堿液噴淋塔排出的廢氣。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人西安交通大學(xué)，其通訊地址為：710049 陜西省西安市咸寧西路28號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。