西安工程大學(xué)馮松獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉西安工程大學(xué)申請(qǐng)的專利頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114911081B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202210734456.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G02F1/01;該發(fā)明授權(quán)頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu)是由馮松;王迪;胡翔建;劉勇;陳夢(mèng)林;馮露露設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-06-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu)在說(shuō)明書摘要公布了:本發(fā)明公開了頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu),頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu),包括SiO2埋氧層,SiO2埋氧層,SiO2埋氧層上覆蓋兩個(gè)N++阱區(qū)、Si平板層,兩個(gè)N++阱區(qū)分居Si平板層兩側(cè),Si平板層上中部覆蓋波導(dǎo)區(qū),波導(dǎo)區(qū)上部覆蓋P++阱區(qū),每個(gè)N++阱區(qū)上均連接陰極電極,N++阱區(qū)上覆蓋陰極電極以外的區(qū)域、陰極電極、P++阱區(qū)、Si平板層上覆蓋波導(dǎo)區(qū)以外的區(qū)域上均覆蓋SiO2覆蓋層;通過(guò)在脊形頂部P型重?fù)诫s,平板層N型重?fù)诫s,從而形成頂注入新型p?i?n電光調(diào)制結(jié)構(gòu),提高載流子注入,增強(qiáng)等離子色散效應(yīng)。
本發(fā)明授權(quán)頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了:1.頂注入電光調(diào)制結(jié)構(gòu),其特征在于,包括SiO2埋氧層(1),所述SiO2埋氧層(1)上覆蓋兩個(gè)N++阱區(qū)(2)、Si平板層(3),兩個(gè)所述N++阱區(qū)(2)分居Si平板層(3)兩側(cè),所述Si平板層(3)上中部覆蓋波導(dǎo)區(qū)(4),所述波導(dǎo)區(qū)(4)上部覆蓋P++阱區(qū)(5),所述P++阱區(qū)(5)上連接陽(yáng)極電極(17),每個(gè)所述N++阱區(qū)(2)上均連接陰極電極(6),N++阱區(qū)(2)上覆蓋陰極電極(6)以外的區(qū)域、陰極電極(6)、P++阱區(qū)(5)、陽(yáng)極電極(17)、Si平板層(3)上覆蓋波導(dǎo)區(qū)(4)以外的區(qū)域上均覆蓋SiO2覆蓋層(7);波導(dǎo)區(qū)(4)材料為SiGe,波導(dǎo)寬度為420nm,所述波導(dǎo)區(qū)(4)與P++阱區(qū)(5)的高度和為130nm;Si平板層(3)高度90nm;所述P++阱區(qū)(5)的摻雜濃度為1×1020cm-3~5×1020cm-3,摻雜劑為B離子;P++阱區(qū)(5)的高度為1~100nm,寬度為420nm;所述N++阱區(qū)(2)的摻雜濃度為1×1020cm-3~5×1020cm-3,摻雜劑為P離子;N++阱區(qū)的高度為90nm,寬度為1μm;所述N++阱區(qū)(2)與波導(dǎo)區(qū)(4)邊界距離為1μm。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人西安工程大學(xué),其通訊地址為:710048 陜西省西安市碑林區(qū)金花南路19號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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