買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉中美矽晶制品股份有限公司申請的專利硅氧化物的制備裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115364510B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210125140.6，技術領域涉及：B01D7/02；該發明授權硅氧化物的制備裝置是由楊瑜民;林煌偉;許松林設計研發完成，并于2022-02-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本硅氧化物的制備裝置在說明書摘要公布了：一種硅氧化物的制備裝置，包括一加熱爐、一加熱裝置、一坩堝、一沉積盒、至少一個排氣管道及一抽氣裝置，所述坩堝及所述沉積盒設置于所述加熱爐中，所述加熱裝置對所述坩堝加熱使置于所述坩堝中的固態原料形成一氣態硅氧化物，所述沉積盒具有至少一個入氣口及一出氣口，所述沉積盒內部設置至少一個吸附件；所述至少一個排氣管道的第一端設置鄰近于所述坩堝的上開口的位置，所述至少一個排氣管道的第二端與所述沉積盒的至少一個入氣口連通；所述抽氣裝置與所述沉積盒的出氣口連通以將所述氣態硅氧化物抽離所述坩堝并使所述氣態硅氧化物與所述至少一個吸附件的表面接觸以沉積一固態的硅氧化物。

本發明授權硅氧化物的制備裝置在權利要求書中公布了：1.一種硅氧化物的制備裝置，包含：一加熱爐，內部具有由一隔熱材料圍設形成的一加熱區；一加熱裝置，設置于所述加熱區中；一坩堝，設置于所述加熱區中，用以容置一固態原料，所述固態原料包括二氧化硅及硅，所述坩堝具有一上開口；一沉積盒，設置于所述加熱區與所述加熱爐的內爐壁之間，所述沉積盒具有至少一個入氣口及一出氣口，所述沉積盒包含至少一個吸附件并設置于所述沉積盒的內部空間中，所述至少一個吸附件的表面材質包含碳；至少一個排氣管道，具有一第一端及一第二端，所述第一端設置于鄰近所述坩堝的所述上開口的位置，所述第二端與所述沉積盒的所述至少一個入氣口連通；以及一抽氣裝置，與所述沉積盒的所述出氣口連通；其中，所述至少一個吸附件與所述至少一個入氣口間相隔一距離，所述距離為3～13cm；其中，所述至少一個吸附件具有一長軸向，所述長軸向的延伸線通過所述至少一個入氣口；其中，所述至少一個吸附件的數量為多個，所述多個吸附件中的一個具有所述長軸向，與所述入氣口距離越接近的所述多個吸附件中的吸附件的長度須相對與所述入氣口距離越遠的所述多個吸附件中的吸附件的長度短。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中美矽晶制品股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹科學園區新竹市工業東二路8號4樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。