ASMIP私人控股有限公司森幸博獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASMIP私人控股有限公司申請的專利旋轉襯底支撐件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113755824B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110612556.6，技術領域涉及：C23C16/458；該發明授權旋轉襯底支撐件是由森幸博設計研發完成，并于2021-06-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本旋轉襯底支撐件在說明書摘要公布了：一種用于處理襯底的設備可以包括：反應室；襯底支撐件，其設置在反應室內并設置有支撐表面以支撐襯底；以及提供旋轉運動的馬達，其中馬達被控制和配置成在反應室和襯底支撐件之間圍繞垂直于支撐表面的軸線產生雙向旋轉運動。
本發明授權旋轉襯底支撐件在權利要求書中公布了：1.一種用于處理襯底的設備，包括：反應室；襯底支撐件，其設置在反應室內并設置有支撐表面以支撐襯底；以及提供旋轉運動的馬達，其中馬達被控制和配置成在反應室和襯底支撐件之間圍繞垂直于支撐表面的軸線產生雙向旋轉運動，其中所述襯底支撐件設置有電氣裝置，并且該電氣裝置通過線連接到所述設備中的站，所述線包括卷曲繩，并且被構造和布置成允許在所述反應室和襯底支撐件之間旋轉運動n次左右，其中n=1、2、3…。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASMIP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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