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龍圖騰網獲悉深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利校準設備和校準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115346890B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110526930.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權校準設備和校準方法是由陳魯;金建高;張鵬斌;張嵩設計研發完成，并于2021-05-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本校準設備和校準方法在說明書摘要公布了：本申請的校準設備用于校準待校準件，校準設備包括承載件和多個定位件。待校準件承載在承載件上；定位件可在預定行程內移動，預定行程包括目標位置，當多個定位件均位于對應的目標位置時，多個定位件圍成預定的定位空間，待校準件位于定位空間并與多個定位件均抵觸。本申請的校準設備和校準方法通過承載件承載待校準件，通過多個可在預定行程內移動的定位件移動到對應的目標位置，從而使得待校準件被準確地定位到預定的定位空間內，快速完成待校準件的位置校準，使得待校準件在被機械手抓取時位置始終保持不變，從而使得機械手抓取待校準件移動到檢測設備上時，待校準件始終位于檢測設備上同一預定位置，從而保證了待校準件的檢測效果和檢測效率。

本發明授權校準設備和校準方法在權利要求書中公布了：1.一種校準設備，其特征在于，用于校準待校準件，所述校準設備包括：承載件，所述待校準件承載在所述承載件上；多個定位件，所述定位件可在預定行程內移動，所述預定行程包括目標位置，當多個所述定位件均位于對應的所述目標位置時，多個所述定位件圍成預定的定位空間，所述待校準件位于所述定位空間并與多個所述定位件均抵觸；所述定位件包括驅動部和移動部，所述移動部包括定位面，所述驅動部驅動所述移動部在所述預定行程內移動，以改變所述定位空間的形狀和大小；所述定位面包括第一定位面和第二定位面，所述定位空間包括第一定位空間和第二定位空間，所述第一定位面圍成所述第一定位空間，所述第二定位面圍成所述第二定位空間，所述第一定位空間大于所述第二定位空間；所述第一定位面和所述第二定位面之間的距離根據所述第一定位空間和所述第二定位空間的大小確定；所述移動部為階梯狀，每個所述階梯包括階梯面和與所述階梯面對應的定位面，根據階梯的數量根據所述定位面包含的數量確定；所述承載件包括承載板和多個設置在所述承載板的支撐柱，所述支撐柱包括支撐面，所述承載板包括第一承載部和第二承載部，所述第一承載部包圍所述第二承載部，所述支撐柱包括第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱設置在所述第一承載部上，所述第二支撐柱設置在所述第二承載部上，所述第一支撐柱的所述支撐面高于所述第二支撐柱的所述支撐面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳中科飛測科技股份有限公司，其通訊地址為：518110 廣東省深圳市龍華區大浪街道同勝社區上橫朗第四工業區2號101、201、301；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。