江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司陳海杰獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN112908871B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202110375994.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/56;該發(fā)明授權(quán)一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法是由陳海杰;徐立;潘浩;朱友義;陳棟;陳錦輝設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-04-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明涉及一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法,屬于半導(dǎo)體封裝的治具技術(shù)領(lǐng)域。其裁切平臺(tái)包括裁切刀組(50)、底盤(pán)(70)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)(80)和膜屑抽吸系統(tǒng)(90),底盤(pán)(70)通過(guò)真空吸住塑封圓片(20),其裁切刀組(50)的裁刀Ⅰ(51)、裁刀Ⅱ(52)、裁刀Ⅲ(53)、裁刀Ⅳ(54)和銼刀(58)對(duì)塑封圓片(20)依次作業(yè),完成對(duì)塑封圓片(20)的邊緣修整及其對(duì)位缺口(13)的修整。本發(fā)明對(duì)完成層壓工藝的塑封圓片的邊緣進(jìn)行修整和約束,形成標(biāo)準(zhǔn)圓片的形貌。
本發(fā)明授權(quán)一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法,其工藝步驟如下:步驟一:準(zhǔn)備已經(jīng)通過(guò)倒裝工藝完成扇出封裝的圓片10,所述圓片10設(shè)有對(duì)位缺口13,所述對(duì)位缺口13呈V槽,V槽的角度A不大于2°;步驟二:對(duì)圓片10表面進(jìn)行預(yù)處理,這些預(yù)處理方式包括等離子清洗、烘烤或者水洗;步驟三:選擇合適厚度的層狀塑封料膜30,進(jìn)行裁剪,形成與圓片10等大的圓形,與圓片10的正面進(jìn)行貼合,形成塑封圓片20;步驟四:通過(guò)層壓設(shè)備,在密閉空間內(nèi),設(shè)定合適的溫度,用氣囊和或金屬板對(duì)塑封圓片20進(jìn)行平整化處理,其塑封料膜30的塑封料溢出塑封圓片20的邊緣;步驟五:準(zhǔn)備裁切平臺(tái),將塑封圓片20通過(guò)裁切平臺(tái)的底盤(pán)70通過(guò)真空吸住,其裁切刀組50的裁刀Ⅰ51、裁刀Ⅱ52、裁刀Ⅲ53、裁刀Ⅳ54處于初始狀態(tài),銼刀58的位置對(duì)準(zhǔn)計(jì)劃修整的塑封圓片20的對(duì)位缺口13的中心線;步驟六:所述裁刀Ⅰ51、裁刀Ⅱ52、裁刀Ⅲ53、裁刀Ⅳ54和銼刀58依次作業(yè):裁刀Ⅰ51和裁刀Ⅳ54對(duì)塑封圓片20進(jìn)行邊緣修整,裁刀Ⅱ52和裁刀Ⅲ53對(duì)塑封圓片20的對(duì)位缺口13進(jìn)行邊緣修整,銼刀58對(duì)塑封圓片20的對(duì)位缺口13進(jìn)行修整;所述裁刀Ⅰ51、裁刀Ⅱ52、裁刀Ⅲ53和裁刀Ⅳ54的刀尖依次沿著圓片10邊緣的切線方向行進(jìn);步驟七:將裁切完成的塑封圓片20從裁切平臺(tái)取下并傳輸?shù)较乱粋€(gè)工藝站點(diǎn)。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù),可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司,其通訊地址為:214433 江蘇省無(wú)錫市江陰市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)園區(qū)(澄江東路99號(hào));或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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