中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所張濤獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所申請的專利一種基于分代求解的導(dǎo)向自組裝芯片通孔設(shè)計(jì)分組與拆分方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114970434B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210386825.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G06F30/39;該發(fā)明授權(quán)一種基于分代求解的導(dǎo)向自組裝芯片通孔設(shè)計(jì)分組與拆分方法是由張濤;李思坤;周恒宇;王向朝設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-04-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種基于分代求解的導(dǎo)向自組裝芯片通孔設(shè)計(jì)分組與拆分方法在說明書摘要公布了:一種基于分代求解的導(dǎo)向自組裝芯片通孔設(shè)計(jì)分組與拆分方法,通過應(yīng)用分代求解和圖論算法,針對未進(jìn)行處理的芯片通孔設(shè)計(jì)進(jìn)行處理,將設(shè)計(jì)中的通孔進(jìn)行分組拆分;形成一種可平衡染色數(shù)與分組數(shù)的快速處理方法。本發(fā)明可以形成一種可平衡染色數(shù)與分組數(shù)的快速處理方法,能夠在短時(shí)間內(nèi)對大規(guī)模版圖進(jìn)行分組與拆分。
本發(fā)明授權(quán)一種基于分代求解的導(dǎo)向自組裝芯片通孔設(shè)計(jì)分組與拆分方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基于分代求解的導(dǎo)向自組裝芯片通孔設(shè)計(jì)分組與拆分方法,其特征在于,包括如下步驟:步驟1.讀取GDS芯片文件,將芯片上所有通孔由1至n排序,并以各通孔的幾何中心點(diǎn)位置作為各通孔的位置;設(shè)定光刻分辨率Litho_distance、雙孔分組的距離區(qū)間TwoVias_distance;通過引導(dǎo)模板染色表示引導(dǎo)模板被拆分到不同掩模的過程,即被染同種顏色的引導(dǎo)模板表示被分配在同一掩模,染色數(shù)表示需要的掩模數(shù);設(shè)定最大染色數(shù)n、染色互不影響的最小距離為Color_distance;步驟2.構(gòu)建鄰接距離矩陣decomp_result_matrix:以通孔的序號作為矩陣的行數(shù)和列數(shù),矩陣中第n行第m列元素值為第n個(gè)通孔的位置與第m個(gè)通孔的位置之間的歐式距離,且當(dāng)n=m時(shí),元素值為0;步驟3.構(gòu)建鄰接矩陣cluster_result_matrix:將鄰接距離矩陣decomp_result_matrix中元素值小于等于光刻分辨率Litho_distance的值置為”1”,大于光刻分辨率Litho_distance的值置為”0”;步驟4.通過Kosaraju算法得到鄰接矩陣cluster_result_matrix的最大連通圖,并記錄每個(gè)連通圖中的點(diǎn);每個(gè)連通圖中的點(diǎn)構(gòu)成一個(gè)數(shù)列clusteri,所有的數(shù)列clusteri構(gòu)成數(shù)列集clusters;步驟5.遍歷數(shù)列集clusters中的所有數(shù)列clusteri,并對每個(gè)數(shù)列cluster進(jìn)行分組拆分染色,具體包括:步驟5.1隨機(jī)選取隨機(jī)數(shù)量的通孔,將單個(gè)通孔或在距離區(qū)間TwoVias_distance內(nèi)的兩通孔作為一個(gè)分組,記作match,枚舉出含有選中通孔的分組matchi,并存入列表matchs;步驟5.2從列表matchs中隨機(jī)選取隨機(jī)數(shù)量的分組matchj,并存入列表Generation;步驟5.3將列表Generation中每個(gè)分組matchj的所有相鄰?fù)?,合并形成邊界圖形;步驟5.4從邊界圖形中隨機(jī)選取隨機(jī)數(shù)量的通孔,枚舉出含有選取通孔的分組matchk,并存入列表match_candidate;步驟5.5從列表match_candidate中隨機(jī)選取隨機(jī)數(shù)量的與列表Generation中分組matchj不重疊的分組matchg,且g∈k,將分組matchg存入列表Generation;步驟5.6將新加入列表Generation的每個(gè)分組matchg的相鄰?fù)准尤脒吔鐖D形,更新邊界圖形;步驟5.8重復(fù)步驟5.4-5.6直至當(dāng)前數(shù)列cluster中所有通孔都被分組;步驟6.利用頂點(diǎn)染色法對所有分組進(jìn)行染色;步驟7.重復(fù)步驟5-6直至芯片上所有通孔都被分組染色。
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