株式會社斯庫林集團山口貴大獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利襯底處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113363180B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110243978.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權襯底處理方法是由山口貴大;澤島隼;東克栄;小林健司設計研發完成，并于2021-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本襯底處理方法在說明書摘要公布了：本發明的課題在于提高蝕刻輪廓的自由度。本發明的襯底處理方法包括如下工序：使襯底旋轉；使用中央噴嘴向旋轉的襯底的中央部噴出第1處理液；以及使用邊緣噴嘴向旋轉的襯底的邊緣部噴出第2處理液，俯視時該邊緣部包圍著中央部；邊緣噴嘴從相對于襯底的主表面傾斜的方向，順著襯底的旋轉方向噴出第2處理液，且邊緣噴嘴向如下位置的襯底的邊緣部噴出第2處理液，即，俯視時從連結襯底的中心和中央噴嘴的線，順著襯底的旋轉方向前進半周后的位置。
本發明授權襯底處理方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理方法，包括如下工序： 使保持在襯底保持部的襯底旋轉； 從中央噴嘴向旋轉的所述襯底噴出第1處理液，同時使所述中央噴嘴從所述襯底的中央部朝所述襯底的徑向移動； 使用邊緣噴嘴向旋轉的所述襯底的邊緣部噴出第2處理液，俯視時該邊緣部包圍著所述中央部；以及 所述邊緣噴嘴從相對于所述襯底的主表面傾斜的方向，順著所述襯底的旋轉方向噴出所述第2處理液；且 所述邊緣噴嘴向如下位置噴出所述第2處理液，即，比俯視時所述中央噴嘴從所述襯底的所述中央部朝所述徑向移動后的位置起向順著所述襯底的旋轉方向前進半周后的位置，更向順著旋轉方向前進后的所述襯底的所述邊緣部上的位置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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