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恭喜川崎重工業株式會社清水一平獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜川崎重工業株式會社申請的專利基板保持機械手和基板搬運機器人獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116325107B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080103709.8,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權基板保持機械手和基板搬運機器人是由清水一平;高氏龍之介設計研發完成,并于2020-11-02向國家知識產權局提交的專利申請。

基板保持機械手和基板搬運機器人在說明書摘要公布了:該基板保持機械手1具備:框架10;多個葉片20,它們分別支承基板W;以及安裝部件30,其用于支承多個葉片,并且將多個葉片安裝于框架。多個葉片以在與葉片的主面20a垂直的方向上排列的方式配置,能夠在將位于與葉片的主面垂直的方向上的端部的、即端部的葉片安裝于安裝部件的狀態下,從安裝部件取下中間的葉片。

本發明授權基板保持機械手和基板搬運機器人在權利要求書中公布了:1.一種基板保持機械手,其特征在于,具備: 框架; 多個葉片,它們分別支承基板;以及 安裝部件,其用于支承多個所述葉片,并且將多個所述葉片安裝于所述框架, 多個所述葉片以在與所述葉片的主面垂直的方向上排列的方式配置,能夠在將位于與所述葉片的主面垂直的方向上的端部的、即端部的所述葉片安裝于所述安裝部件的狀態下,從所述安裝部件取下中間的所述葉片, 所述端部的葉片包括:第1插通孔部,其用于供將所述端部的葉片緊固固定于所述安裝部件的第1緊固部件進行插通;以及第2插通孔部,其用于供將所述中間的葉片緊固固定于所述安裝部件的第2緊固部件進行插通,并且在從與所述葉片的主面垂直的方向進行觀察的情況下,所述第2緊固部件從所述第2插通孔部露出。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人川崎重工業株式會社,其通訊地址為:日本兵庫縣;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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