中國人民解放軍國防科技大學房素素獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國人民解放軍國防科技大學申請的專利一種自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119876906B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510369397.X,技術領域涉及:C23C16/44;該發明授權一種自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法是由房素素;姚金龍;王丹陽;王珊珊設計研發完成,并于2025-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法在說明書摘要公布了:本發明屬于二維材料制備領域,具體涉及到一種自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法,自動化CVD連續制備二維材料裝置包括反應爐、瓷舟組件、直線移動機構、物料存放裝置和上下料機構;本發明所提供的自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法,徹底摒棄傳統手工雙邊上樣、螺栓固定的繁瑣流程,創新性地采用單邊自動化進樣,通過設計多種零件的協同配合,成功實現瓷舟組件進樣后即刻密封的效果,簡化流程且大幅提高工作效率。此外,通過設計上下料機構,有效克服因上料盤表面不平整因素導致的上樣失敗問題,實現上下料自適應糾偏,進而實現整個制備流程的自動化進行,最終實現24小時的連續自動化實驗。
本發明授權一種自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法在權利要求書中公布了:1.一種自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法,其特征是,使用自動化CVD裝置連續制備二維材料,所述自動化CVD裝置包括反應爐(1)、瓷舟組件(2)、直線移動機構(3)、物料存放裝置(4)和上下料機構(5);所述反應爐(1)包括用于進行氣相沉積的爐體(11),所述爐體(11)的一側設置有物料進出口(133);所述瓷舟組件(2)包括依次設置的瓷舟(21)和瓷舟桿(22),所述瓷舟桿(22)設置在所述直線移動機構(3)輸出端,所述直線移動機構(3)用于驅動所述瓷舟組件(2)通過所述物料進出口(133)進入爐體(11);在所述瓷舟組件(2)進入爐體(11)時,所述瓷舟桿(22)與所述物料進出口(133)通過瓷舟桿(22)上的密封圈(221)配合完成密封;所述物料存放裝置(4)存放用于氣相沉積的襯底和用于存放前驅體的坩堝;所述上下料機構(5)用于將所述物料存放裝置(4)上的襯底和坩堝轉移至所述瓷舟(21)上進行氣相沉積,所述上下料機構(5)還用于將所述瓷舟(21)上已經完成氣相沉積的襯底和坩堝轉移至下一工位;所述自動化CVD裝置連續制備二維材料的方法為使用所述自動化CVD裝置進行連續的自動化實驗;所述反應爐(1)包括爐體(11)和放置在爐體(11)內的爐管(12);所述爐體(11)一端設置有連接法蘭(13),所述連接法蘭(13)上設置有進出氣腔(131),所述進出氣腔(131)的一端設置有連通所述爐體(11)內的進出氣孔Ⅰ(132),另一端設置有物料進出口(133),所述進出氣腔(131)上還設置有連通爐體(11)外的進出氣孔Ⅱ(134);所述爐管(12)內部中空兩端開口,其中一端開口連通所述爐體(11)外部用于出進氣,另一端開口抵接在所述進出氣孔Ⅰ(132)背離所述進出氣腔(131)一端;所述瓷舟組件(2)的一端可依次通過所述物料進出口(133)、進出氣孔Ⅰ(132)伸入所述爐管(12)內,所述瓷舟桿(22)外壁與所述進出氣孔Ⅰ(132)之間具有進出氣間隔(135),所述瓷舟桿(22)與所述物料進出口(133)通過瓷舟桿(22)上的密封圈(221)配合完成密封;所述進出氣腔(131)包括側圍Ⅰ(1311)、設置在側圍Ⅰ(1311)一端的固定側壁Ⅰ(1312)和滑動設置在側圍Ⅰ(1311)內的滑動側壁Ⅰ(1313);所述進出氣孔Ⅰ(132)設置在所述滑動側壁Ⅰ(1313)上;所述物料進出口(133)設置在所述固定側壁Ⅰ(1312)上;所述進出氣孔Ⅱ(134)設置在側圍Ⅰ(1311)或固定側壁Ⅰ(1312)上;所述滑動側壁Ⅰ(1313)和固定側壁Ⅰ(1312)之間還設置有彈簧Ⅰ(1314),所述彈簧Ⅰ(1314)推動所述滑動側壁Ⅰ(1313)與所述爐管(12)開口抵接。
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