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龍圖騰網(wǎng)獲悉浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種重?fù)搅滓r底高阻值外延片生產(chǎn)設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119877089B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510369386.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B25/02；該發(fā)明授權(quán)一種重?fù)搅滓r底高阻值外延片生產(chǎn)設(shè)備是由徐新華設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-03-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種重?fù)搅滓r底高阻值外延片生產(chǎn)設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種重?fù)搅滓r底高阻值外延片生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及外延設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括設(shè)備主體、氣體混合部和放置部，所述設(shè)備主體包括外殼，所述外殼內(nèi)設(shè)有加熱機構(gòu)和升降平臺，所述氣體混合部包括四通管，所述四通管的一端設(shè)有混合筒，所述混合筒自由端設(shè)有攪拌機構(gòu)，所述攪拌機構(gòu)下部設(shè)有出氣管，所述出氣管上設(shè)有多個噴頭，所述放置部包括轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有底座，所述底座側(cè)面設(shè)有多個托盤。本發(fā)明通過氣體混合結(jié)構(gòu)、均勻的氣體分布設(shè)計、靈活的操作方式和穩(wěn)定耐用的結(jié)構(gòu)材料，有效解決了外延生長過程中氣體混合不均的問題，提高了外延生長的均勻性和生產(chǎn)效率。

本發(fā)明授權(quán)一種重?fù)搅滓r底高阻值外延片生產(chǎn)設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種重?fù)搅滓r底高阻值外延片生產(chǎn)設(shè)備，包括設(shè)備主體，所述設(shè)備主體包括外殼，其特征在于，所述外殼內(nèi)上部設(shè)有加熱機構(gòu)，所述外殼內(nèi)設(shè)有位于加熱機構(gòu)下方的升降平臺；氣體混合部，其包括四通管，所述四通管的一端設(shè)有混合筒，所述混合筒自由端設(shè)有攪拌機構(gòu)，所述攪拌機構(gòu)下部設(shè)有兩個對稱分布的出氣管，所述出氣管上設(shè)有多個噴頭，所述噴頭上開設(shè)有多個噴氣孔；所述混合筒內(nèi)設(shè)有螺旋板，所述攪拌機構(gòu)包括與混合筒連通的攪拌桶，所述攪拌桶內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有攪拌軸，所述攪拌軸上下兩側(cè)均設(shè)有多個沿圓周方向均布的攪拌桿，且上下兩側(cè)的攪拌桿交錯分布，每個攪拌桿上均設(shè)有多個與其垂直的豎桿；放置部，其包括與升降平臺轉(zhuǎn)動連接的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有位于升降平臺上方的底座，所述底座側(cè)面設(shè)有多個托盤，每個所述托盤均能夠?qū)?zhǔn)對應(yīng)側(cè)的噴頭；所述轉(zhuǎn)軸頂部設(shè)有位于攪拌軸下方的套筒，所述套筒內(nèi)表面上開設(shè)有多個沿圓周方向均勻分布的卡槽，所述卡槽朝著靠近攪拌軸方向逐漸變寬，所述攪拌軸下部設(shè)有多個能夠插接在卡槽內(nèi)的插塊；當(dāng)所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時，所述攪拌機構(gòu)能夠跟隨轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。

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