廈門脈馳科技有限公司孫志軍獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉廈門脈馳科技有限公司申請(qǐng)的專利一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實(shí)現(xiàn)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN112834036B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202011636504.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01J3/28;該發(fā)明授權(quán)一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實(shí)現(xiàn)方法是由孫志軍設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-12-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實(shí)現(xiàn)方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實(shí)現(xiàn)方法,以提高其光譜分辨率、降低微腔陣列中腔內(nèi)介質(zhì)層的制備方法的工藝復(fù)雜性;所述的微型光譜儀模組中包括具有以金屬薄膜為反射層的Fabry?Perot結(jié)構(gòu)的微腔陣列和探測(cè)器陣列;所述的提高光譜分辨率的方法包括通過基于準(zhǔn)單色光的預(yù)置校準(zhǔn)信息和光譜重構(gòu)來獲取光譜的方法、和增加微腔陣列中的微腔單元數(shù)目;所述的微腔陣列中腔內(nèi)介質(zhì)層的制備方法是通過較少次數(shù)的工藝步驟來獲得具有較大數(shù)目的不同厚度的腔內(nèi)介質(zhì)層,以此實(shí)現(xiàn)具有較大數(shù)目微腔單元的微腔陣列。
本發(fā)明授權(quán)一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實(shí)現(xiàn)方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實(shí)現(xiàn)方法,其特征在于:微型光譜儀模組包括微腔陣列和探測(cè)器陣列,微腔陣列中設(shè)置多個(gè)微腔單元,每個(gè)微腔單元具有以厚度為5~100nm的金屬薄膜為反射層的Fabry-Perot結(jié)構(gòu),不同的微腔單元具有不同的腔內(nèi)介質(zhì)層厚度; 微腔陣列的制備中,具有不同厚度的腔內(nèi)介質(zhì)層的制備是通過薄膜淀積工藝多次選擇性地在微腔陣列的不同區(qū)域內(nèi)淀積薄膜堆積形成,不同厚度的腔內(nèi)介質(zhì)層材料的薄膜淀積次數(shù)少于微腔陣列中具有不同厚度的腔內(nèi)介質(zhì)層的微腔單元的數(shù)目;通過N次腔內(nèi)介質(zhì)層材料的薄膜淀積工藝,最多可形成2N-1個(gè)不同厚度的腔內(nèi)介質(zhì)層的微腔單元; 所述的探測(cè)器陣列由其固有的多個(gè)探測(cè)器單位像素構(gòu)成,探測(cè)器陣列被規(guī)劃為具有多個(gè)探測(cè)器單元,每個(gè)探測(cè)器單元包含有一個(gè)或多個(gè)探測(cè)器單位像素;所述的微腔陣列中的各個(gè)微腔單元分別與探測(cè)器陣列中的各個(gè)探測(cè)器單元相對(duì)應(yīng); 微型光譜儀模組在使用前利用校準(zhǔn)光源為波長(zhǎng)可調(diào)的準(zhǔn)單色光的預(yù)置校準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)置校準(zhǔn),在使用過程中基于預(yù)置校準(zhǔn)信息和光譜重構(gòu)計(jì)算來獲取光譜。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人廈門脈馳科技有限公司,其通訊地址為:361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)大廈南407C;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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