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龍圖騰網獲悉廈門脈馳科技有限公司申請的專利一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實現(xiàn)方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112834036B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202011636504.4，技術領域涉及：G01J3/28；該發(fā)明授權一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實現(xiàn)方法是由孫志軍設計研發(fā)完成，并于2020-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實現(xiàn)方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實現(xiàn)方法，以提高其光譜分辨率、降低微腔陣列中腔內介質層的制備方法的工藝復雜性；所述的微型光譜儀模組中包括具有以金屬薄膜為反射層的Fabry?Perot結構的微腔陣列和探測器陣列；所述的提高光譜分辨率的方法包括通過基于準單色光的預置校準信息和光譜重構來獲取光譜的方法、和增加微腔陣列中的微腔單元數(shù)目；所述的微腔陣列中腔內介質層的制備方法是通過較少次數(shù)的工藝步驟來獲得具有較大數(shù)目的不同厚度的腔內介質層，以此實現(xiàn)具有較大數(shù)目微腔單元的微腔陣列。

本發(fā)明授權一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實現(xiàn)方法在權利要求書中公布了：1.一種基于金屬微腔陣列的微型光譜儀模組的實現(xiàn)方法，其特征在于：微型光譜儀模組包括微腔陣列和探測器陣列，微腔陣列中設置多個微腔單元，每個微腔單元具有以厚度為5～100nm的金屬薄膜為反射層的Fabry-Perot結構，不同的微腔單元具有不同的腔內介質層厚度； 微腔陣列的制備中，具有不同厚度的腔內介質層的制備是通過薄膜淀積工藝多次選擇性地在微腔陣列的不同區(qū)域內淀積薄膜堆積形成，不同厚度的腔內介質層材料的薄膜淀積次數(shù)少于微腔陣列中具有不同厚度的腔內介質層的微腔單元的數(shù)目；通過N次腔內介質層材料的薄膜淀積工藝，最多可形成2N-1個不同厚度的腔內介質層的微腔單元； 所述的探測器陣列由其固有的多個探測器單位像素構成，探測器陣列被規(guī)劃為具有多個探測器單元，每個探測器單元包含有一個或多個探測器單位像素；所述的微腔陣列中的各個微腔單元分別與探測器陣列中的各個探測器單元相對應； 微型光譜儀模組在使用前利用校準光源為波長可調的準單色光的預置校準測試系統(tǒng)進行預置校準，在使用過程中基于預置校準信息和光譜重構計算來獲取光譜。

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