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龍圖騰網(wǎng)獲悉長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況的方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114551271B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011294106.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況的方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備是由吳雨祥;王莉莉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-18向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況的方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備在說明書摘要公布了：本公開提供了一種監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況的方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)產(chǎn)品制備工藝過程，獲取監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集；根據(jù)所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集，提取機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)；對(duì)所述機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行篩選，獲得目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)；預(yù)設(shè)所述目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的數(shù)量閾值；根據(jù)所述目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)的數(shù)量及所述數(shù)量閾值，判斷是否產(chǎn)生報(bào)警信號(hào)。該方法以機(jī)臺(tái)目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)為基礎(chǔ)，確定機(jī)臺(tái)報(bào)警標(biāo)準(zhǔn)，通過報(bào)警信號(hào)體現(xiàn)機(jī)臺(tái)的運(yùn)行狀況，直觀地給出機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況信息，有利于工程師快速找出異常原因，從而提高排除異常效率，使整個(gè)過程及時(shí)達(dá)到可控狀態(tài)。

本發(fā)明授權(quán)監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況的方法及裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種監(jiān)測(cè)機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀況的方法，用于產(chǎn)品制備工藝過程監(jiān)控，其特征在于，包括： 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)產(chǎn)品制備工藝過程，獲取監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集； 根據(jù)所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集，提取機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)； 對(duì)所述機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行篩選，獲得目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)； 預(yù)設(shè)所述目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的數(shù)量閾值； 根據(jù)所述目標(biāo)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)的數(shù)量及所述數(shù)量閾值，判斷是否產(chǎn)生報(bào)警信號(hào)； 根據(jù)所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集，提取機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)包括： 根據(jù)所述監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集，提取產(chǎn)品制備工藝過程中的異常數(shù)據(jù)點(diǎn)； 根據(jù)所述產(chǎn)品制備工藝過程中的異常數(shù)據(jù)點(diǎn)，以機(jī)臺(tái)為單位進(jìn)行提取，獲得所述機(jī)臺(tái)異常數(shù)據(jù)點(diǎn)。

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