上海拜安傳感技術有限公司吳迅奇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海拜安傳感技術有限公司申請的專利一種懸臂梁式光學MEMS壓力傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111707395B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010627105.5,技術領域涉及:G01L1/04;該發明授權一種懸臂梁式光學MEMS壓力傳感器是由吳迅奇;李偉偉設計研發完成,并于2020-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種懸臂梁式光學MEMS壓力傳感器在說明書摘要公布了:本發明公開了一種懸臂梁式光學MEMS壓力傳感器,包括懸臂梁結構和傳感器防護殼,所述懸臂梁結構的上方設有由兩個受電弓碳滑板托架組成U型托架,懸臂梁結構梁臂和底座之間有一定的縫隙,縫隙在靠近懸臂梁結構根部位置一直到U型托架之前是1mm,從U型托架到遠離懸臂梁結構根部的位置的縫隙保持1.5mm,懸臂梁結構上還安裝有MEMS光學壓力敏感芯片,傳感器防護殼通過螺釘固定在懸臂梁結構上,本發明傳感器件是在不改變受電弓本身力學結構的基礎上進行加裝的,且利于組裝和拆卸,因此可以大批量地列裝在運營列車的受電弓上,實時監測弓網之間的工作狀態,保障安全運營。
本發明授權一種懸臂梁式光學MEMS壓力傳感器在權利要求書中公布了:1.一種懸臂梁式光學MEMS壓力傳感器,包括懸臂梁結構(1)和傳感器防護殼(2),其特征在于,所述懸臂梁結構(1)由梁臂和底座構成,其中梁臂和底座在懸臂梁的根部位置成一體結構,梁臂和底座之間在遠離根部位置有一定的縫隙,梁臂遠離根部位置的一端設有由2個受電弓碳滑板托架組成的U形托架,受電弓碳滑板托架上設有碳滑板固定孔位,底座遠離根部位置的一端設有板簧固定孔位,縫隙在靠近懸臂梁結構(1)根部位置一直到U型托架之前是1mm,從U型托架到遠離懸臂梁結構(1)根部位置的縫隙保持1.5mm,懸臂梁結構(1)上還安裝有MEMS光學壓力敏感芯片(3),傳感器防護殼2通過螺釘固定在懸臂梁結構(1)上,其位置位于MEMS光學壓力敏感芯片(3)上方,MEMS光學壓力敏感芯片(3)上連接有導波光纖(10),MEMS光學壓力敏感芯片(3)有兩個,兩個MEMS光學壓力敏感芯片(3)通過正交黏貼的方式布置。
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