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龍圖騰網獲悉中國科學院光電技術研究所申請的專利精密傳輸預對準裝置和預對準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115881603B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211716129.3，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權精密傳輸預對準裝置和預對準方法是由羅先剛;閆劍;劉明剛;李成文利;王長濤設計研發完成，并于2022-12-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本精密傳輸預對準裝置和預對準方法在說明書摘要公布了：本公開提供一種精密傳輸預對準裝置和預對準方法，該裝置包括：溫度處理單元2，包括均流板2.1、帕爾貼元件2.3和散熱風扇2.4，用于通過加熱或者制冷將氣浴氣體調控至目標溫度；氣浴恒溫箱1，包括氣體過濾器1.1、氣浴柵欄1.2和溫度傳感器1.3，用于將氣浴氣體均勻傳遞至內部腔室1.6及測量溫度；氣浴恒溫箱1與溫度處理單元2分別通過供風管1.4和回風管1.5連接，以使氣浴氣體進行流通；預對準系統3，設于氣浴恒溫箱1的內部腔室1.6中。本公開的預對準裝置結構體積小、溫度分布均勻，能同時實現晶圓預對準、面形翹曲檢測以及表面異物檢測。

本發明授權精密傳輸預對準裝置和預對準方法在權利要求書中公布了：1.一種精密傳輸預對準裝置，其特征在于，包括：溫度處理單元（2），包括均流板（2.1）、帕爾貼元件（2.3）和散熱風扇（2.4），用于通過加熱或者制冷將氣浴氣體調控至目標溫度；氣浴恒溫箱（1），包括氣體過濾器（1.1）、氣浴柵欄（1.2）和溫度傳感器（1.3），用于將所述氣浴氣體均勻傳遞至內部腔室（1.6）及測量溫度；所述氣浴恒溫箱（1）與所述溫度處理單元（2）分別通過供風管（1.4）和回風管（1.5）連接，以使所述氣浴氣體進行流通；預對準系統（3），設于所述氣浴恒溫箱（1）的內部腔室（1.6）中；其中，所述預對準系統（3）包括：4自由度位移系統，包括xy運動平臺（3.7）、z運動平臺（3.6）和圍繞z軸旋轉的旋轉平臺（3.5），用于調節晶圓（3.4）的姿態和位置；所述圍繞z軸旋轉的旋轉平臺（3.5）包括：承片臺（3.5.1）；真空管路（3.8），穿過安裝在所述圍繞z軸旋轉的旋轉平臺（3.5）中心的通氣管道（3.5.3）進行晶圓的吸附；通氣管道（3.5.3），其一端通過O形圈（3.5.5）與底部端蓋（3.5.6）之間形成靜密封結構，其另一端通過泛塞密封圈（3.5.2）與所述承片臺（3.5.1）之間形成動密封結構。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院光電技術研究所，其通訊地址為：610209 四川省成都市雙流350信箱；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。