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龍圖騰網(wǎng)獲悉武漢天馬微電子有限公司申請的專利測試件排布結(jié)構(gòu)及測試基板獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114823407B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210360696.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)測試件排布結(jié)構(gòu)及測試基板是由李紅翠;雷志宏;張夢蘭設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-04-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本測試件排布結(jié)構(gòu)及測試基板在說明書摘要公布了：本申請公開一種測試件排布結(jié)構(gòu)及測試基板。測試件排布結(jié)構(gòu)包括：多個測試組，每個所述測試組包括至少一個測試件，各所述測試組內(nèi)所述測試件的數(shù)量相同，多個所述測試組繞一虛擬標(biāo)記點(diǎn)設(shè)置，所述測試件具有圖案化結(jié)構(gòu)，每個所述測試組至少有一個所述圖案化結(jié)構(gòu)相同的所述測試件，各所述測試組內(nèi)的所述相同的圖案化結(jié)構(gòu)至所述虛擬標(biāo)記點(diǎn)的距離相同。利用蒸鍍設(shè)備進(jìn)行蒸鍍進(jìn)而得到的上述各圖案化結(jié)構(gòu)的膜層厚度較為一致，提高了各測試組的相同的圖案化結(jié)構(gòu)的蒸鍍膜層厚度均一性，一定程度上改善了各測試組內(nèi)測試件的蒸鍍膜層厚度不均勻的現(xiàn)象。測試件具有了足夠的膜層精度，因此能夠保證使用測試件進(jìn)行測試時可以得到更為準(zhǔn)確的測試結(jié)果。

本發(fā)明授權(quán)測試件排布結(jié)構(gòu)及測試基板在權(quán)利要求書中公布了：1.一種測試件排布結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：多個測試組，每個所述測試組包括至少一個測試件，各所述測試組內(nèi)所述測試件的數(shù)量相同，多個所述測試組繞一虛擬標(biāo)記點(diǎn)設(shè)置，所述測試件具有圖案化結(jié)構(gòu)，每個所述測試組至少有一個所述圖案化結(jié)構(gòu)相同的所述測試件，各所述測試組內(nèi)的所述相同的圖案化結(jié)構(gòu)至所述虛擬標(biāo)記點(diǎn)的距離相同。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人武漢天馬微電子有限公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)流芳園橫路8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。