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龍圖騰網(wǎng)恭喜長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113937032B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111039073.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)是由潘杰;宋銳;孫永貴;周鵬;周毅設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-06向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本公開實(shí)施例公開了一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)，包括：腔室集合體，包括：由下至上依次層疊設(shè)置的第二緩存腔室、n個(gè)處理腔室、以及第一緩存腔室；支撐架，包括：由下至上依次并列設(shè)置的第三支撐位、n個(gè)第二支撐位、以及第一支撐位，分別用于承載第二緩存腔室、n個(gè)處理腔室、以及第一緩存腔室；第二支撐位與處理腔室可拆卸連接；轉(zhuǎn)移組件，位于腔室集合體的第一側(cè)面，用于向第一緩存腔室中轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，還用于從第二緩存腔室中取出半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)；傳輸組件，位于腔室集合體的第二側(cè)面，用于在第一緩存腔室與相鄰的處理腔室間傳輸半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，還用于在相鄰的兩個(gè)處理腔室間傳輸半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，還用于在第二緩存腔室與相鄰的處理腔室間傳輸半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)，其特征在于，包括：腔室集合體，包括：由下至上依次層疊設(shè)置的第二緩存腔室、n個(gè)處理腔室、以及第一緩存腔室；其中，n為大于1的自然數(shù)；支撐架，包括：由下至上依次并列設(shè)置的第三支撐位、n個(gè)第二支撐位、以及第一支撐位；其中，所述第一支撐位用于承載所述第一緩存腔室，所述第二支撐位用于承載所述處理腔室，所述第三支撐位用于承載所述第二緩存腔室；所述第二支撐位與所述處理腔室可拆卸連接；轉(zhuǎn)移組件，位于所述腔室集合體的第一側(cè)面，用于向所述第一緩存腔室中轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，還用于從所述第二緩存腔室中取出所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)；傳輸組件，位于所述腔室集合體的第二側(cè)面，包括：由下至上并列設(shè)置的n+1個(gè)承載位，每個(gè)所述承載位用于承載一個(gè)所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)；所述傳輸組件，用于在所述第一緩存腔室與相鄰的所述處理腔室間傳輸所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，還用于在相鄰的兩個(gè)所述處理腔室間傳輸所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，還用于在所述第二緩存腔室與相鄰的所述處理腔室間傳輸所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。