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華邦電子股份有限公司張皓筌獲國家專利權

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龍圖騰網獲悉華邦電子股份有限公司申請的專利半導體存儲器結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115223995B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110422428.5,技術領域涉及:H01L23/538;該發明授權半導體存儲器結構是由張皓筌;楊峻昇設計研發完成,并于2021-04-20向國家知識產權局提交的專利申請。

半導體存儲器結構在說明書摘要公布了:一種半導體存儲器結構,包含半導體基板、設置于半導體基板上的位線、以及設置于位線一側的電容接觸件。電容接觸件包含設置于半導體基板上的半導體插塞、設置于半導體插塞上的金屬插塞、沿著金屬插塞的側壁和底部延伸的金屬硅化物襯層、以及設置于金屬硅化物襯層上的氮化物層。金屬硅化物襯層的頂表面低于金屬插塞的頂表面。氮化物層圍繞金屬插塞的頂部。

本發明授權半導體存儲器結構在權利要求書中公布了:1.一種半導體存儲器結構,其特征在于,包括:一半導體基板;一位線,設置于該半導體基板上;以及一電容接觸件,設置于該位線的一側,其中該電容接觸件包括:一半導體插塞,設置于半導體基板上;一金屬插塞,設置于該半導體插塞上;一金屬硅化物襯層,沿著該金屬插塞的側壁和底部延伸,其中該金屬硅化物襯層的頂表面低于該金屬插塞的頂表面;以及一氮化物層,設置于該金屬硅化物襯層上,且該氮化物層圍繞該金屬插塞的頂部。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人華邦電子股份有限公司,其通訊地址為:中國臺灣臺中市;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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