中國科學院上海光學精密機械研究所朱美萍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院上海光學精密機械研究所申請的專利一種去除光學薄膜節瘤缺陷表面球冠狀凸起的拋光方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116855913B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210329698.6，技術領域涉及：C23C14/58；該發明授權一種去除光學薄膜節瘤缺陷表面球冠狀凸起的拋光方法是由朱美萍;劉天寶;杜文云;李靜平;邵建達設計研發完成，并于2022-03-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種去除光學薄膜節瘤缺陷表面球冠狀凸起的拋光方法在說明書摘要公布了：本發明涉及光學薄膜領域，主要針對降低光學薄膜損傷閾值的節瘤缺陷，具體涉及一種基于去除節瘤缺陷表面球冠狀凸起提高薄膜激光損傷閾值的方法。本發明提供的方法包括：使用粗糙度小于薄膜元件的光滑表面作為拋光面；利用潤濕性良好的液體在拋光面和薄膜表面間形成液膜，液膜產生的毛細力作為作用在薄膜表面的正壓力；膜面的節瘤凸起在拋光面和膜面的相對滑動過程中由摩擦力去除。本發明利用光滑表面和潤濕性良好的液體去除薄膜表面的節瘤凸起，降低了節瘤缺陷引起的電場增強，在不影響薄膜光譜性能的前提下提升了薄膜元件的激光損傷閾值。與現有的提高光學薄膜激光損傷閾值的方法相比，本發明具有操作簡單、成本低和適用范圍廣等特點。
本發明授權一種去除光學薄膜節瘤缺陷表面球冠狀凸起的拋光方法在權利要求書中公布了：1.一種去除光學薄膜節瘤缺陷表面球冠狀凸起的拋光方法，其特征在于：使用粗糙度小于薄膜元件的光滑表面作為拋光面；利用潤濕性良好的液體在拋光面和薄膜表面間形成液膜，液膜產生的毛細力作為作用在薄膜表面的正壓力；薄膜表面的節瘤凸起在拋光面和薄膜表面的相對滑動過程中由摩擦力去除；所述潤濕性良好的液體與薄膜表面及拋光面間的接觸角都小于90°，且不與薄膜表面和拋光面發生化學反應。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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