應用材料公司安德烈亞斯·勒普獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于蒸發源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設備及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115698370B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180039228.X，技術領域涉及：C23C14/56；該發明授權用于蒸發源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設備及方法是由安德烈亞斯·勒普;斯蒂芬·班格特設計研發完成，并于2021-05-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于蒸發源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設備及方法在說明書摘要公布了：描述了一種用于蒸發源的溫度控制遮蔽件。溫度控制遮蔽件被配置成提供預加熱區或后冷卻區。
本發明授權用于蒸發源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設備及方法在權利要求書中公布了：1.一種用于將一蒸發材料沉積到基板上的材料沉積設備，所述材料沉積設備包括： 蒸發源110，所述蒸發源110包括多個噴嘴，所述多個噴嘴包括兩個最外側噴嘴，其中所述兩個最外側噴嘴在不同方向上傾斜；和 一個或多個溫度控制遮蔽件，其中所述一個或多個溫度控制遮蔽件布置在所述蒸發源處并從所述蒸發源向外朝向基板輸送裝置延伸。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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