應(yīng)用材料公司安德烈亞斯·勒普獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請(qǐng)的專利用于蒸發(fā)源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設(shè)備及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115698370B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-17發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180039228.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/56；該發(fā)明授權(quán)用于蒸發(fā)源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設(shè)備及方法是由安德烈亞斯·勒普;斯蒂芬·班格特設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本用于蒸發(fā)源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設(shè)備及方法在說(shuō)明書摘要公布了：描述了一種用于蒸發(fā)源的溫度控制遮蔽件。溫度控制遮蔽件被配置成提供預(yù)加熱區(qū)或后冷卻區(qū)。
本發(fā)明授權(quán)用于蒸發(fā)源的溫度控制遮蔽件、用于在基板上沉積材料的材料沉積設(shè)備及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于將一蒸發(fā)材料沉積到基板上的材料沉積設(shè)備，所述材料沉積設(shè)備包括： 蒸發(fā)源110，所述蒸發(fā)源110包括多個(gè)噴嘴，所述多個(gè)噴嘴包括兩個(gè)最外側(cè)噴嘴，其中所述兩個(gè)最外側(cè)噴嘴在不同方向上傾斜；和 一個(gè)或多個(gè)溫度控制遮蔽件，其中所述一個(gè)或多個(gè)溫度控制遮蔽件布置在所述蒸發(fā)源處并從所述蒸發(fā)源向外朝向基板輸送裝置延伸。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開(kāi)、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
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