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廣東粵港澳大灣區(qū)硬科技創(chuàng)新研究院楊軍紅獲國家專利權

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龍圖騰網獲悉廣東粵港澳大灣區(qū)硬科技創(chuàng)新研究院申請的專利一種激光腔外倍頻系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113517624B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202110447815.4,技術領域涉及:H01S3/00;該發(fā)明授權一種激光腔外倍頻系統(tǒng)是由楊軍紅;扈金富;印曉麗設計研發(fā)完成,并于2021-04-25向國家知識產權局提交的專利申請。

一種激光腔外倍頻系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供的激光腔外倍頻系統(tǒng),包括沿光路傳輸方向依次設置的二倍頻晶體1、匹配透鏡2、第一波片3、二向色片4、第二波片5、偏振分束器6及四倍頻晶體8,以及用于收集所述偏振分束器6反射的垃圾光束的四倍頻垃圾光收集器9,上述激光腔外倍頻系統(tǒng)穩(wěn)定性得到了大幅度地改善,實現(xiàn)了減少污染物,控制了移除的新增污染物,提升了整機壽命,清除了不共軸反射光的輸出,提高了紫外激光的光束質量,降低了器件的損傷等優(yōu)點。

本發(fā)明授權一種激光腔外倍頻系統(tǒng)在權利要求書中公布了:1.一種激光腔外倍頻系統(tǒng),其特征在于,包括:沿光路傳輸方向依次設置的二倍頻晶體(1)、匹配透鏡(2)、第一波片(3)、二向色片(4)、第二波片(5)、偏振分束器(6)及四倍頻晶體(8),以及用于收集所述偏振分束器(6)反射的垃圾光束的四倍頻垃圾光收集器(9);其中: 所述二倍頻晶體(1)輸出的激光光束進入所述匹配透鏡(2),所述匹配透鏡(2)對入射的激光光束的光斑大小和發(fā)散角大小進行整型,整形后的激光光束再入射進入所述第一波片(3),所述第一波片(3)對入射的激光光束的匹配相位進行調整,經相位調整后的激光光束由所述二向色片(4)濾去基頻光后入射進入所述第二波片(5),所述第二波片(5)對入射的激光光束的匹配相位進行調整后然后以入射角45°透射所述偏振分束器(6)并入射進入所述四倍頻晶體(8),所述四倍頻晶體(8)輸出部分的激光光束,并對部分的垃圾光束進行反射再經所述偏振分束器(6)反射后由所述四倍頻垃圾光收集器(9)收集; 所述偏振分束器(6)面向所述四倍頻晶體(8)的表面鍍有s光高反射率及p光高透過率的膜系,另一個表面不鍍膜; 所述四倍頻垃圾光收集器(9)的材質為鍍金或鎳的鋁材; 所述四倍頻晶體的出射端面不鍍膜。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人廣東粵港澳大灣區(qū)硬科技創(chuàng)新研究院,其通訊地址為:510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道廣州開發(fā)區(qū)科技企業(yè)加速器B3棟3層;或者聯(lián)系龍圖騰網官方客服,聯(lián)系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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