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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利測定方法及測定系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113310594B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-17發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110189877.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01K11/26；該發(fā)明授權(quán)測定方法及測定系統(tǒng)是由畑中貴之;吳同;野村聰志設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-02-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本測定方法及測定系統(tǒng)在說明書摘要公布了：提供一種測定方法及測定系統(tǒng)，其能夠去除半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)的噪聲，并對半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)的物理特性精確地進(jìn)行預(yù)測。該測定方法由具有腔室的半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行，該測定方法包括：基于在未將能夠進(jìn)行無線通信的夾具布置在所述腔室內(nèi)的狀態(tài)下發(fā)送至所述腔室內(nèi)的電信號，取得具有所述腔室內(nèi)的諧振頻率的第一測定數(shù)據(jù)，并將該第一測定數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的工序；基于在將所述夾具布置在所述腔室內(nèi)的狀態(tài)下發(fā)送至所述腔室內(nèi)的電信號，取得具有所述腔室內(nèi)的諧振頻率和由在所述夾具上搭載的傳感器所檢測出的諧振頻率的第二測定數(shù)據(jù)的工序；以及從取得的所述第二測定數(shù)據(jù)中減去所述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)，以去除噪聲的工序。

本發(fā)明授權(quán)測定方法及測定系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種測定方法，由具有腔室的半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行，該測定方法包括： 基于在未將能夠進(jìn)行無線通信的夾具布置在所述腔室內(nèi)的狀態(tài)下發(fā)送至所述腔室內(nèi)的電信號，取得具有所述腔室內(nèi)的諧振頻率的第一測定數(shù)據(jù)，并將該第一測定數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的工序； 基于在將所述夾具布置在所述腔室內(nèi)的狀態(tài)下發(fā)送至所述腔室內(nèi)的電信號，取得具有所述腔室內(nèi)的諧振頻率和由在所述夾具上搭載的傳感器所檢測出的諧振頻率的第二測定數(shù)據(jù)的工序；以及 從取得的所述第二測定數(shù)據(jù)中減去所述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)，以去除噪聲的工序。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。