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龍圖騰網恭喜中北大學申請的專利一種薄膜結構石墨烯高溫溫度傳感器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111141404B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010043429.4，技術領域涉及：G01K7/16；該發明授權一種薄膜結構石墨烯高溫溫度傳感器是由王俊強;李孟委;朱澤華;梁海堅設計研發完成，并于2020-01-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種薄膜結構石墨烯高溫溫度傳感器在說明書摘要公布了：一種薄膜結構石墨烯高溫溫度傳感器，傳感器包括：封裝外殼，以及設置在封裝外殼頂端的陶瓷端蓋和設置在封裝外殼內部底端的陶瓷基板，陶瓷端蓋上設置有多個通孔；檢測單元，檢測單元設置陶瓷基板上；互連組件，互連組件設置在檢測單元兩側，互連組件一端與檢測單元連接，另一端與外部連接。本發明利用包含石墨烯層的檢測納米薄膜替代其它金屬材料或者半導體材料，提高了電阻式溫度傳感器的測溫區間，由于石墨烯材料的高熱導率，提高了器件的響應速度。檢測納米薄膜被氧化鋁納米薄膜和襯底包裹著，有效消除了周圍環境中的干擾因素，隔絕了檢測納米薄膜與外界的直接接觸，從而提升了器件的耐高溫能力以及穩定性，可應用于及其惡劣的高溫測試環境。

本發明授權一種薄膜結構石墨烯高溫溫度傳感器在權利要求書中公布了：1.一種薄膜結構石墨烯高溫溫度傳感器，可以長期穩定工作在1500℃的高溫，其特征在于，所述傳感器包括： 封裝外殼21，以及設置在所述封裝外殼21頂端的陶瓷端蓋7和設置在封裝外殼21內部底端的陶瓷基板20，所述陶瓷端蓋7上設置有多個通孔2； 檢測單元，所述檢測單元設置在由所述陶瓷端蓋7、陶瓷基板20以及封裝外殼21共同界定的內部檢測空間內并位于所述陶瓷基板20上； 互連組件，所述互連組件設置在所述檢測單元兩側，所述互連組件一端與所述檢測單元連接，所述互連組件另一端與外部連接導出檢測單元中的電學響應； 所述檢測單元設置在所述陶瓷基板20上面向內部檢測空間的一側，所述檢測單元包括：檢測納米薄膜1、金屬電極、氧化鋁納米薄膜3、襯底19和阻擋層25、26，所述襯底19設置在所述陶瓷基板20上，所述檢測納米薄膜1設置在所述襯底19上表面，所述氧化鋁納米薄膜3覆蓋在所述檢測納米薄膜1上表面，所述金屬電極設置在所述檢測納米薄膜1兩側并與所述檢測納米薄膜1連接，所述阻擋層25、26設置在所述金屬電極與襯底19之間；所述襯底材料為α-Al2O3材料； 所述金屬電極由復合電極4、8，布線5、9和內部互連電極6、10組成，所述復合電極4、8通過布線5、9與內部互連電極6、10連接，所述復合電極4、8分別與中層石墨烯層23的兩個相對的端部連接，所述互連電極與互連組件連接，用于導出檢測納米薄膜1中的電學響應； 所述互連組件包括：互連引線11、13，互連焊盤15、17，引線柱16、18和外部互連電極27、28，所述互連引線11、13，互連焊盤15、17，引線柱16、18和外部互連電極27、28順次連接； 所述陶瓷基板20上開設有安裝所述引線柱16、18的安裝孔，所述引線柱16、18設置在所述安裝孔內，所述互連焊盤15、17設置在所述陶瓷基板20上并與所述引線柱16、18一端連接，所述互連焊盤15、17上設置有互連凸點12、14，所述互連引線11、13一端與所述互連焊盤15、17上的互連凸點12、14連接，所述互連引線11、13另一端與所述內部互連電極6、10連接，所述封裝外殼21底部設置有容納所述外部互連電極27、28的開口，所述外部互連電極27、28設置在所述陶瓷基板20底部并與所述引線柱16、18另一端連接，所述外部互連電極27、28連接外部檢測組件； 所述檢測納米薄膜1由上層氮化硼層22、中層石墨烯層23、下層氮化硼層24組成，所述上層氮化硼層22、中層石墨烯層23、下層氮化硼層24由上至下順次設置，所述中層石墨烯層23為蛇形彎折結構或圓盤形彎折結構。

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