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龍圖騰網恭喜上海邦芯半導體科技有限公司申請的專利具有異常監控的工藝進流系統、監控方法及工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120007962B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510481846.X，技術領域涉及：F17D1/04；該發明授權具有異常監控的工藝進流系統、監控方法及工藝設備是由沈康;涂樂義;梁潔;王兆祥;周正;桂智謙設計研發完成，并于2025-04-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本具有異常監控的工藝進流系統、監控方法及工藝設備在說明書摘要公布了：本公開涉及半導體處理技術領域，提供具有異常監控的工藝進流系統、監控方法及工藝設備。系統包括第一和第二管路單元、控制單元和監控單元，第一管路和第二管路分別設置管路閥、質量流量控制器及流量監測器。工藝進流系統執行預設工藝流程中的進流。監控單元基于質量流量控制器及流量監測器的流量信號的時序分布情況、波動幅值的分析確定成核工藝步驟和主沉積步驟中的進流異常。由此，實現對異常情況的及時監控，提升工藝可靠性及產品良率。

本發明授權具有異常監控的工藝進流系統、監控方法及工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種具有異常監控的工藝進流系統，其特征在于，包括：第一管路單元，包括用于向反應腔輸送第一還原流體的第一管路；所述第一管路從輸入端至輸出端依次設置有第一質量流量控制器、第一管路閥及第一流量監測器；第二管路單元，包括用于向反應腔輸送供與所述第一還原流體反應以形成薄膜沉積的沉積反應流體；第二管路從輸入端向輸出端依次設置有第二質量流量控制器、第二管路閥及第二流量監測器；控制單元，用于控制預設工藝流程中的進流，所述預設工藝流程包括沉積流程，所述沉積流程包括循環執行的成核工藝步驟，在每個所述成核工藝步驟中，第一管路單元及第二管路單元之間交替地執行第一還原流體和沉積反應流體對反應腔的脈沖式的進流動作；監控單元，與所述第一質量流量控制器、第一流量監測器、第二質量流量控制器、第二流量監測器通信連接，用于執行以下監測方式：在循環執行的成核工藝步驟中，從第一質量流量控制器和第二質量流量控制器所感測的實際流量的流量信號中分別識別與脈沖式的進流動作的流量變化特征相符的第一流量特征曲線波形和第二流量特征曲線波形；根據第一流量特征曲線波形及第二流量特征曲線波形的時序分布確定是否存在進流異常；在循環執行的成核工藝步驟中，從所述第一流量監測器和第二流量監測器所監測的進入反應腔流量的流量信號中識別對應第一還原流體的脈沖式進流動作的第一流量脈沖、及對應第一還原流體的脈沖式進流動作的第二流量脈沖，根據第一流量脈沖和第二流量脈沖的時序分布確定是否存在進流異常；在所述沉積流程中，根據進流的流體所在管路的質量流量控制器和或流量監測器所得到的流量信號的波動幅值的穩定性，確定是否存在對應流體的進流異常。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海邦芯半導體科技有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區平霄路358號7號廠房、9號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。