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龍圖騰網獲悉廣東索魯達科技有限公司申請的專利基于注意力金字塔變化檢測晶圓缺陷的方法和系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119963555B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510443188.5，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權基于注意力金字塔變化檢測晶圓缺陷的方法和系統是由崔通;廖翔宇設計研發完成，并于2025-04-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于注意力金字塔變化檢測晶圓缺陷的方法和系統在說明書摘要公布了：本申請提供一種基于注意力金字塔變化檢測晶圓缺陷的方法和系統，方法包括：對預拍攝的晶圓圖像進行預處理，并標注預處理后的晶圓圖像的缺陷部分；構建特征提取網絡，將缺陷部分輸入特征提取網絡，得到輸出特征圖；對輸出特征圖中的深層特征進行優化；根據優化后的深層特征，生成動態變化先驗矩陣；基于動態變化先驗矩陣和輸出特征圖的特征進行聯合優化，輸出優化后的輸出特征圖；根據優化后的輸出特征圖和標注的缺陷部分，對特征提取網絡進行訓練；將待檢測晶圓圖像輸入訓練后的特征提取網絡，輸出晶圓缺陷檢測結果。本申請的魯棒性高，泛化性強，充分利用模板的信息，即使對于沒有參與訓練過的缺陷也能實現快速且準確的檢測。

本發明授權基于注意力金字塔變化檢測晶圓缺陷的方法和系統在權利要求書中公布了：1.一種基于注意力金字塔變化檢測晶圓缺陷的方法，其特征在于，包括：對預拍攝的晶圓圖像進行預處理，并標注預處理后的晶圓圖像的缺陷部分；構建特征提取網絡，將所述缺陷部分輸入所述特征提取網絡，得到輸出特征圖；對所述輸出特征圖中的深層特征進行優化；根據優化后的深層特征，生成動態變化先驗矩陣；基于所述動態變化先驗矩陣和所述輸出特征圖的特征進行聯合優化，輸出優化后的輸出特征圖；根據優化后的輸出特征圖和所述標注的缺陷部分，對所述特征提取網絡進行訓練；將待檢測晶圓圖像輸入所述訓練后的特征提取網絡，輸出晶圓缺陷檢測結果；所述對預拍攝的晶圓圖像進行預處理，并標注預處理后的晶圓圖像的缺陷部分，包括：對晶圓圖像進行掃描成灰度圖片，并對多張晶圓圖像的每個像素取中值，以獲得中值圖像作為模板圖像；對所述多張晶圓圖像進行裁剪、歸一化處理，尺寸調整為256×256像素以適應模型輸入要求；對所述多張晶圓圖像的缺陷部分進行標注，用（XA，XB）表示，標注出來的二值化缺陷則用Y表示，其中X表示圖片集合，A代表缺陷圖片，B代表模板圖像的對應切片；所述構建特征提取網絡，將所述缺陷部分輸入所述特征提取網絡，得到輸出特征圖，包括：使用resnet50作為特征提取網絡，將（XA，XB）分別輸入到特征提取網絡中，取其中的2-5階段的輸出特征圖，i∈[2,5]；所述對所述輸出特征圖中的深層特征進行優化，包括：定義余弦相似度并計算余弦損失，使用余弦損失函數來對深層特征進行優化來最小化特征之間的方向差異，余弦損失函數通過影響特征提取網絡的梯度的方式來優化提取的深層特征中屬于缺陷的區域和不屬于缺陷的區域的區分度；所述余弦相似度表示為： ，所述余弦損失函數表示為： ，其中N代表無缺陷區域的數量，j代表無缺陷區域的像素坐標，C代表缺陷區域的數量，k表示缺陷區域的像素坐標，代表中對應無缺陷區域的像素的特征向量，代表中對應無缺陷區域的像素的特征向量，代表中對應缺陷區域的像素的特征向量，代表中對應缺陷區域的像素的特征向量。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人廣東索魯達科技有限公司，其通訊地址為：510000 廣東省廣州市黃埔區開源大道188號萊迪科技園G棟一層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。