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龍圖騰網(wǎng)恭喜中芯長電半導(dǎo)體(江陰)有限公司申請的專利CP探針機(jī)及其調(diào)節(jié)方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112053966B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201910492031.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)CP探針機(jī)及其調(diào)節(jié)方法是由王厚農(nóng);李彥勛;顧雯霞;羅世凱設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-06-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本CP探針機(jī)及其調(diào)節(jié)方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種CP探針機(jī)及其調(diào)節(jié)方法，CP探針機(jī)包括晶圓承載臺；至少兩個高度調(diào)節(jié)裝置，高度調(diào)節(jié)裝置與晶圓承載臺相接觸；支撐件，支撐件與晶圓承載臺活動連接，通過支撐件支撐晶圓承載臺，且支撐件位于高度調(diào)節(jié)裝置之間；控制器，控制器與高度調(diào)節(jié)裝置電連接，通過控制器調(diào)節(jié)高度調(diào)節(jié)裝置的高度，以調(diào)節(jié)晶圓承載臺的水平位置。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對晶圓承載臺的水平位置的調(diào)節(jié)，從而使得CP探針機(jī)可自動檢測及校正探針卡與晶圓承載臺之間的相互水平位置，提高生產(chǎn)效率、提高CP測試結(jié)果準(zhǔn)確性、提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低成本，并提高了CP探針機(jī)的適用性。

本發(fā)明授權(quán)CP探針機(jī)及其調(diào)節(jié)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種CP探針機(jī)，其特征在于，所述CP探針機(jī)包括： 晶圓承載臺； 至少兩個高度調(diào)節(jié)裝置，所述高度調(diào)節(jié)裝置與所述晶圓承載臺相接觸； 支撐件，所述支撐件與所述晶圓承載臺活動連接，通過所述支撐件支撐所述晶圓承載臺，且所述支撐件位于所述高度調(diào)節(jié)裝置之間； 控制器，所述控制器與所述高度調(diào)節(jié)裝置電連接，通過所述控制器調(diào)節(jié)所述高度調(diào)節(jié)裝置的高度，以調(diào)節(jié)所述晶圓承載臺的水平位置； 所述高度調(diào)節(jié)裝置包括依次相連接的驅(qū)動件、傳動件及升降件，其中，所述驅(qū)動件與所述控制器電連接，所述升降件與所述晶圓承載臺相接觸，通過所述控制器啟動所述驅(qū)動件，通過所述傳動件帶動所述升降件運(yùn)行，以調(diào)節(jié)所述晶圓承載臺的水平位置；所述高度調(diào)節(jié)裝置位于所述晶圓承載臺的底部邊緣，且相鄰的所述高度調(diào)節(jié)裝置等間距分布；所述支撐件位于所述晶圓承載臺的底部中心，各個所述高度調(diào)節(jié)裝置與所述支撐件具有相等的間距，所述支撐件包括球形支撐軸。

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