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龍圖騰網獲悉上海邦芯半導體科技有限公司申請的專利工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119901432B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510389786.9，技術領域涉及：G01M3/32；該發明授權工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質是由沈康;王兆祥;涂樂義;梁潔;桂智謙;周正設計研發完成，并于2025-03-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質在說明書摘要公布了：本公開提供工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質，該工藝腔體的檢漏方法是對工藝腔體實施排氣和脫氣之后，通過移動部件將工件承載裝置移動至多個檢漏位置并檢測每一個檢漏位置在對應的檢漏時間內工藝腔體的檢漏壓力以實施泄漏檢測，從而判定出工藝腔體是否存在泄漏以及移動部件是否存在泄漏缺陷，相比于相關技術，本公開提供的工藝腔體的檢漏方法具有流程簡單、不會影響半導體工藝制程、檢測精確、并可對檢測出存在泄漏缺陷的移動部件進行及時的維修或更換，確保符合工藝腔體的氣密性要求，更有利于后續半導體晶片的制程工藝，提升良率。

本發明授權工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種工藝腔體的檢漏方法，其特征在于，應用于半導體工藝設備中，所述半導體工藝設備包括工藝腔體、工件承載裝置、移動部件、至少一路進氣裝置、以及排氣裝置，所述移動部件為升降部件，至少一路進氣裝置與工藝腔體之間設有進氣總閥門，所述排氣裝置包括排氣管路和設于排氣管路上的排氣閥組件和排氣泵；所述工藝腔體的檢漏方法包括如下步驟：將進氣總閥門關閉，將排氣裝置中的排氣閥組件打開，啟動排氣泵，使得工藝腔體進入排氣模式以實施排氣；將進氣總閥門關閉，將排氣裝置中的排氣閥組件關閉，使得工藝腔體進入脫氣模式以實施脫氣；在完成脫氣后，檢測工藝腔體的初始壓力；將進氣總閥門關閉，將排氣裝置中的排氣閥組件關閉，使得工藝腔體進入泄漏檢測模式，通過升降部件驅動工件承載裝置升降至多個檢漏位置，檢測每一個檢漏位置在對應的檢漏時間內工藝腔體的檢漏壓力；以及根據檢測的工藝腔體的初始壓力和多個檢漏壓力，判定工藝腔體是否存在泄漏以及升降部件是否存在泄漏缺陷；其中，根據檢測的工藝腔體的初始壓力和多個檢漏壓力，判定工藝腔體是否存在泄漏以及升降部件是否存在泄漏缺陷，包括如下步驟：根據檢測的工藝腔體的初始壓力和多個檢漏壓力，計算每一次檢測位置變化在單個檢漏時間內的分段泄漏率；所述分段泄漏率為每一次檢測位置變化前后對應的壓力差值與檢漏時間的比值；將計算得到的每一個分段泄漏率與設定的泄漏閾值作比較，且當任一個分段泄漏率大于等于所述泄漏閾值時，判定工藝腔體存在泄漏；在判定工藝腔體存在泄露且存在至少兩個分段泄漏率為不相同時，判定升降部件存在泄漏缺陷。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海邦芯半導體科技有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區平霄路358號7號廠房、9號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。