国产精品天干天干在线播放,大尺度揉捏胸床戏视频,樱花草www日本在线观看,狠狠躁夜夜躁人人爽天天天天97

Document
拖動滑塊完成拼圖
個人中心

預訂訂單
服務訂單
發布專利 發布成果 人才入駐 發布商標 發布需求

在線咨詢

聯系我們

龍圖騰公眾號
首頁 專利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服務 國際服務 商標交易 會員權益 需求市場 關于龍圖騰
 /  免費注冊
到頂部 到底部
清空 搜索
當前位置 : 首頁 > 專利喜報 > 上海邦芯半導體科技有限公司沈康獲國家專利權

上海邦芯半導體科技有限公司沈康獲國家專利權

買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!

龍圖騰網獲悉上海邦芯半導體科技有限公司申請的專利工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119901432B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510389786.9,技術領域涉及:G01M3/32;該發明授權工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質是由沈康;王兆祥;涂樂義;梁潔;桂智謙;周正設計研發完成,并于2025-03-31向國家知識產權局提交的專利申請。

工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質在說明書摘要公布了:本公開提供工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質,該工藝腔體的檢漏方法是對工藝腔體實施排氣和脫氣之后,通過移動部件將工件承載裝置移動至多個檢漏位置并檢測每一個檢漏位置在對應的檢漏時間內工藝腔體的檢漏壓力以實施泄漏檢測,從而判定出工藝腔體是否存在泄漏以及移動部件是否存在泄漏缺陷,相比于相關技術,本公開提供的工藝腔體的檢漏方法具有流程簡單、不會影響半導體工藝制程、檢測精確、并可對檢測出存在泄漏缺陷的移動部件進行及時的維修或更換,確保符合工藝腔體的氣密性要求,更有利于后續半導體晶片的制程工藝,提升良率。

本發明授權工藝腔體的檢漏方法、控制裝置及計算機可讀存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種工藝腔體的檢漏方法,其特征在于,應用于半導體工藝設備中,所述半導體工藝設備包括工藝腔體、工件承載裝置、移動部件、至少一路進氣裝置、以及排氣裝置,所述移動部件為升降部件,至少一路進氣裝置與工藝腔體之間設有進氣總閥門,所述排氣裝置包括排氣管路和設于排氣管路上的排氣閥組件和排氣泵;所述工藝腔體的檢漏方法包括如下步驟:將進氣總閥門關閉,將排氣裝置中的排氣閥組件打開,啟動排氣泵,使得工藝腔體進入排氣模式以實施排氣;將進氣總閥門關閉,將排氣裝置中的排氣閥組件關閉,使得工藝腔體進入脫氣模式以實施脫氣;在完成脫氣后,檢測工藝腔體的初始壓力;將進氣總閥門關閉,將排氣裝置中的排氣閥組件關閉,使得工藝腔體進入泄漏檢測模式,通過升降部件驅動工件承載裝置升降至多個檢漏位置,檢測每一個檢漏位置在對應的檢漏時間內工藝腔體的檢漏壓力;以及根據檢測的工藝腔體的初始壓力和多個檢漏壓力,判定工藝腔體是否存在泄漏以及升降部件是否存在泄漏缺陷;其中,根據檢測的工藝腔體的初始壓力和多個檢漏壓力,判定工藝腔體是否存在泄漏以及升降部件是否存在泄漏缺陷,包括如下步驟:根據檢測的工藝腔體的初始壓力和多個檢漏壓力,計算每一次檢測位置變化在單個檢漏時間內的分段泄漏率;所述分段泄漏率為每一次檢測位置變化前后對應的壓力差值與檢漏時間的比值;將計算得到的每一個分段泄漏率與設定的泄漏閾值作比較,且當任一個分段泄漏率大于等于所述泄漏閾值時,判定工藝腔體存在泄漏;在判定工藝腔體存在泄露且存在至少兩個分段泄漏率為不相同時,判定升降部件存在泄漏缺陷。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人上海邦芯半導體科技有限公司,其通訊地址為:201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區平霄路358號7號廠房、9號廠房;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
主站蜘蛛池模板: 汨罗市| 伊宁市| 老河口市| 西吉县| 田东县| 淮阳县| 柳江县| 松阳县| 泽普县| 五常市| 马鞍山市| 密山市| 隆德县| 淮北市| 延川县| 乌鲁木齐市| 扶风县| 阳高县| 阳山县| 庆元县| 南阳市| 重庆市| 卢氏县| 东乌珠穆沁旗| 河池市| 潍坊市| 瓮安县| 新竹县| 历史| 林西县| 南岸区| 闵行区| 定日县| 宝应县| 商南县| 团风县| 宜宾市| 胶州市| 张北县| 钟祥市| 威远县|