青島華芯晶電科技有限公司;同濟大學肖迪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉青島華芯晶電科技有限公司;同濟大學申請的專利用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119869992B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510368442.X,技術領域涉及:B08B1/12;該發明授權用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統及方法是由肖迪;鄭東;徐軍;王雪;戴磊;張強;唐慧麗設計研發完成,并于2025-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統及方法在說明書摘要公布了:本發明公開了用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統及方法,屬于藍寶石雙拋片的清洗控制領域,本發明獲取清洗數據,獲取藍寶石雙拋片圖像和清洗前后數據,并對圖像進行處理,構建清洗效果評估模型,將劃痕相關參數和清洗前后表面顆粒數導入清洗效果評估模型中進行評估,構建毛刷磨損程度評估模型,將毛刷清洗藍寶石雙拋片的過程參數導入毛刷磨損程度評估模型中評估毛刷磨損程度,構建毛刷剩余壽命評估模型,將毛刷磨損量、毛刷清潔效果和毛刷厚度導入毛刷剩余壽命評估模型對毛刷剩余壽命進行評估,本發明通過實時監測清洗效果評估毛刷磨損狀況,并基于磨損模型預測毛刷壽命,減少毛刷對雙拋片清洗過程產生的負面影響。
本發明授權用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統及方法在權利要求書中公布了:1.用于藍寶石雙拋片的清洗控制方法,其特征在于,其包括以下具體步驟:獲取清洗數據,獲取藍寶石雙拋片圖像和清洗前后數據,并對圖像進行處理;構建清洗效果評估模型,將劃痕相關參數和清洗前后表面顆粒數導入清洗效果評估模型中進行評估;構建毛刷磨損程度評估模型,將毛刷清洗藍寶石雙拋片的過程參數導入毛刷磨損程度評估模型中評估毛刷磨損程度,包括以下具體步驟:將劃痕綜合評估指數與劃痕評估閾值進行比較,若劃痕綜合評估指數大于劃痕評估閾值,則立即更換毛刷,同時將顆粒去除率與最小顆粒去除率閾值進行比較,若顆粒去除率小于最小顆粒去除率閾值,則立即更換毛刷,若劃痕綜合評估指數和顆粒去除率均在閾值范圍之內,將毛刷清洗藍寶石雙拋片的過程參數代入毛刷磨損量計算公式中計算毛刷磨損量,單位時間的毛刷磨損量計算公式是基于Archard磨損方程得到的,通過毛刷材料特性、壓力、滑移距離以及清洗液對毛刷的腐蝕性量化毛刷的磨損量;構建毛刷剩余壽命評估模型,將毛刷磨損量、毛刷清潔效果和毛刷厚度導入毛刷剩余壽命評估模型對毛刷剩余壽命進行評估,包括以下具體步驟:將毛刷磨損量和毛刷厚度代入毛刷剩余壽命計算公式中計算毛刷剩余壽命,其中,毛刷剩余壽命計算公式為:,其中,為清洗評估因子,H0為毛刷實時厚度,Hmin為毛刷允許的最小厚度,W為單位時間的毛刷磨損量,其中,清洗評估因子的計算公式為:,其中,A為劃痕綜合評估指數,Ar為劃痕評估閾值,P為顆粒去除率,Pr為顆粒去除率閾值,將毛刷剩余壽命與毛刷壽命閾值進行比較,若小于等于閾值,則立即更換毛刷,若接近閾值,則發出提醒預警。
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