恭喜株式會社日立高新技術福田真大獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社日立高新技術申請的專利帶電粒子槍以及帶電粒子束系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115428114B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080099514.0,技術領域涉及:H01J3/02;該發明授權帶電粒子槍以及帶電粒子束系統是由福田真大;糟谷圭吾;荒井紀明設計研發完成,并于2020-04-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本帶電粒子槍以及帶電粒子束系統在說明書摘要公布了:本發明提供能夠抑制引出電極中的不均勻的溫度分布的電子槍901以及測長SEM900。電子槍901具備:帶電粒子源1;引出電極3,其從帶電粒子源1引出帶電粒子,并且使帶電粒子的一部分通過,遮蔽帶電粒子的另一部分;以及輔助結構5,其與引出電極3接觸。測長SEM900具備上述的電子槍901和控制電子槍901的計算機系統920。
本發明授權帶電粒子槍以及帶電粒子束系統在權利要求書中公布了:1.一種帶電粒子槍,其特征在于,具備: 帶電粒子源; 引出電極,其從所述帶電粒子源引出帶電粒子,并且使所述帶電粒子的一部分通過,遮蔽所述帶電粒子的另一部分;以及 連續的傳熱結構,其是與所述引出電極不同的連續的傳熱結構,其在所述引出電極的外側,相對于從所述帶電粒子源引出的所述帶電粒子的行進方向,與所述引出電極的至少包含朝向行進方向的垂直的面和平行于行進方向的面的兩個面以上接觸。
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