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龍圖騰網(wǎng)恭喜罕王微電子(遼寧)有限公司申請(qǐng)的專利一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器及生產(chǎn)工藝獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113992179B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111469524.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H03H9/02；該發(fā)明授權(quán)一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器及生產(chǎn)工藝是由黃向向;楊敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;關(guān)健;孫斯佳設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器及生產(chǎn)工藝在說明書摘要公布了：一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器，錨點(diǎn)通過彈簧與振蕩器連接，驅(qū)動(dòng)電極和感應(yīng)電極與振蕩器連接，振蕩器表面帶有重?fù)诫s氧化層；分為高溫振蕩器和低溫振蕩器兩段，低溫振蕩器與MEMS芯片邊緣呈15?40度的夾角。一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器的生產(chǎn)工藝，刻蝕電極和低溫振蕩器天窗：通過深紫外刻蝕技術(shù)在SOI的器件層上刻蝕天窗，以形成振蕩器與金屬導(dǎo)線間的歐姆接觸，沉積金屬電極；將MEMS晶圓與電路晶圓鍵合：減薄拋光，形成終端互聯(lián)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：通過頻率溫度補(bǔ)償調(diào)整諧振器固有頻率，提高壓力傳感器的輸出精度，可以應(yīng)用于MEMS諧振式壓力傳感器，或定時(shí)諧振器，過濾器，陀螺儀，諧振式化學(xué)傳感器等領(lǐng)域。

本發(fā)明授權(quán)一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器及生產(chǎn)工藝在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器，其特征在于：所述的具有片上溫度補(bǔ)償?shù)碾p諧振器，包括錨點(diǎn)1，彈簧2，振蕩器3，驅(qū)動(dòng)電極4，感應(yīng)電極5，重?fù)诫s氧化層6；錨點(diǎn)1通過彈簧2與振蕩器3連接，驅(qū)動(dòng)電極4和感應(yīng)電極5與振蕩器3連接，振蕩器3表面帶有重?fù)诫s氧化層6；分為高溫振蕩器和低溫振蕩器兩段，低溫振蕩器與MEMS芯片邊緣呈15-40度的夾角，以提高鐘擺的熱性能，有效提高溫控靈敏度，對(duì)低溫振蕩器進(jìn)行重?fù)诫s，摻雜元素是硼，砷，磷元素用以提高其熱性能。

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