長江存儲科技有限責任公司付伶伶獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利用于晶圓的缺陷檢測方法、裝置、檢測設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114897799B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210436386.5，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權用于晶圓的缺陷檢測方法、裝置、檢測設備及存儲介質是由付伶伶;陳金星;趙哲;汪嚴莉設計研發完成，并于2022-04-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于晶圓的缺陷檢測方法、裝置、檢測設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本申請的實施方式提供了一種用于晶圓的缺陷檢測方法、裝置、檢測設備及存儲介質。本申請的部分實施方式中，用于晶圓的缺陷檢測方法包括：檢測晶圓的待測圖像中晶圓的邊緣上的像素；從邊緣上的像素中選取多個像素，并確定所選取的多個像素中相鄰的像素之間的像素路徑；以及基于像素路徑確定晶圓是否存在缺陷。通過上述實施方式，檢測設備可自動檢測晶圓邊緣的缺陷。
本發明授權用于晶圓的缺陷檢測方法、裝置、檢測設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種用于晶圓的缺陷檢測方法，其特征在于，包括：檢測所述晶圓的待測圖像中所述晶圓的邊緣上的像素；從所述邊緣上的像素中選取多個像素，并確定所選取的多個像素中相鄰的像素之間的像素路徑；以及基于所述像素路徑確定所述晶圓是否存在缺陷；其中，從所述邊緣上的像素中選取多個像素，并確定所選取的多個像素中相鄰的像素之間的像素路徑包括：檢測出所述邊緣的圓心和半徑；以所述圓心和所述邊緣上任意選擇的一個像素的連線為旋轉線，以所述圓心為頂點，對所述旋轉線進行旋轉，選擇與所述旋轉線末端重合的像素作為用于確定所述像素路徑的像素，直至所述旋轉線轉回起始位置；以及依次連接各個所述像素，得到各個所述像素之間的所述像素路徑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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