国产精品天干天干在线播放,大尺度揉捏胸床戏视频,樱花草www日本在线观看,狠狠躁夜夜躁人人爽天天天天97

Document
拖動滑塊完成拼圖
個人中心

預訂訂單
服務訂單
發(fā)布專利 發(fā)布成果 人才入駐 發(fā)布商標 發(fā)布需求

在線咨詢

聯(lián)系我們

龍圖騰公眾號
首頁 專利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服務 國際服務 商標交易 會員權益 需求市場 關于龍圖騰
 /  免費注冊
到頂部 到底部
清空 搜索
當前位置 : 首頁 > 專利喜報 > 山東芯源微電子有限公司汪良恩獲國家專利權

山東芯源微電子有限公司汪良恩獲國家專利權

買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便!

龍圖騰網(wǎng)獲悉山東芯源微電子有限公司申請的專利一種減小硅片擴散硼硅玻璃層厚度的硼膜制造方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN114999903B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202210395191.0,技術領域涉及:H01L21/228;該發(fā)明授權一種減小硅片擴散硼硅玻璃層厚度的硼膜制造方法是由汪良恩;王錫康;姜蘭虎設計研發(fā)完成,并于2022-04-15向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

一種減小硅片擴散硼硅玻璃層厚度的硼膜制造方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明屬于硅片擴散膜技術領域,具體涉及一種減小硅片擴散硼硅玻璃層厚度的硼膜制造方法,包括以下步驟:步驟一液態(tài)硼擴散源制備;步驟二液態(tài)硼擴散源沉淀形成固態(tài)硼擴散膜;步驟三后處理,所述后處理過程中對固態(tài)硼擴散膜進行低溫干燥;步驟四將干燥后的固體硼擴散膜切割成型;步驟五分選;相比于現(xiàn)有技術,1利用本發(fā)明制備的硼擴散膜對硅片進行擴散處理后,硅片表面只有很薄的不大于50納米硼硅玻璃層,不再需要利用機械方式進行處理;不會增加硅片的機械應力;2提升硅片擴散處理后的產(chǎn)品特性;3有利于最終產(chǎn)品芯片的良率提升。

本發(fā)明授權一種減小硅片擴散硼硅玻璃層厚度的硼膜制造方法在權利要求書中公布了:1.一種減小硅片硼擴散處理后表面硼硅玻璃層厚度的方法,其特征在于,把已表面處理后的硅片和制備的固態(tài)硼擴散膜進行疊片,固態(tài)硼擴散膜貼合硅片待擴散硼的表面;然后將疊片裝入石英舟進行擴散處理;所述固態(tài)硼擴散膜的制備包括以下步驟:步驟一液態(tài)硼擴散源制備,將含硼原料、粘合劑、分離劑和吸收劑按照一定比例加入配料槽混勻,得到液態(tài)硼擴散源;所述分離劑為氧化鋁粉末;所述吸收劑為氫氧化鋁粉末;步驟二液態(tài)硼擴散源沉淀形成固態(tài)硼擴散膜;步驟三后處理,所述后處理過程中對固態(tài)硼擴散膜進行低溫干燥;步驟四將干燥后的固體硼擴散膜切割成型;步驟五分選;擴散處理過程中,吸收劑氫氧化鋁粉末受熱在活性氧化鋁轉化溫度范圍內(nèi)分解出活性氧化鋁γ-Al2O3,活性氧化鋁對固態(tài)硼擴散膜中的硼源進行吸收,之后的擴散處理過程中活性氧化鋁會緩慢釋放吸收的硼源。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人山東芯源微電子有限公司,其通訊地址為:250000 山東省濟南市章丘區(qū)埠村街道明水經(jīng)濟開發(fā)區(qū)清源大街北段路西;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

免責聲明
1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關數(shù)據(jù)和信息,力求客觀、公正,但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
主站蜘蛛池模板: 康定县| 睢宁县| 邢台县| 新乐市| 荣成市| 乌兰浩特市| 乌拉特后旗| 东城区| 苗栗市| 绍兴县| 花垣县| 卓尼县| 卢氏县| 绥化市| 惠来县| 惠水县| 精河县| 吉林省| 开化县| 罗定市| 马山县| 汕头市| 宁德市| 峡江县| 梓潼县| 资阳市| 合阳县| 太保市| 瓮安县| 龙泉市| 诸暨市| 丰原市| 高州市| 余干县| 揭东县| 长岭县| 铁岭县| 河曲县| 台北市| 祥云县| 贵港市|