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株式會社新川前田徹獲國家專利權

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龍圖騰網獲悉株式會社新川申請的專利半導體裸片的拾取裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116457926B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080107068.3,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權半導體裸片的拾取裝置是由前田徹設計研發完成,并于2020-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。

半導體裸片的拾取裝置在說明書摘要公布了:半導體裸片的拾取裝置100包括:載臺20,包括吸附晶圓片12的吸附面22a及設置于吸附面22a的矩形開口23;及柱狀移動要素30,配置于載臺20的開口23中,以前端面31從吸附面23突出的方式移動,且柱狀移動要素30為矩形的柱狀構件,在前端面31與各側面33、34的各角部38a、38b設置有多個凹部32。

本發明授權半導體裸片的拾取裝置在權利要求書中公布了:1.一種半導體裸片的拾取裝置,其拾取貼附于晶圓片的表面的半導體裸片, 所述半導體裸片的拾取裝置的特征在于包括: 載臺,包括吸附所述晶圓片的背面的吸附面及設置于所述吸附面的矩形開口; 柱狀移動要素,配置于所述載臺的所述開口中,以前端面從所述吸附面突出的方式移動;及 多個環狀移動要素,所述多個環狀移動要素以嵌套狀配置于所述柱狀移動要素的周圍,以環狀前端面從所述吸附面突出的方式移動, 所述柱狀移動要素為矩形的柱狀構件,在所述前端面與各側面的各角部設置有多個凹部, 各所述環狀移動要素為矩形的環狀構件,在所述環狀前端面與各外側面的各角部設置有多個外側凹部, 所述多個凹部與所述多個外側凹部為沿著相對于移動方向而傾斜的方向延伸的矩形的槽形截面形狀。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社新川,其通訊地址為:日本東京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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