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龍圖騰網(wǎng)獲悉嘉興譜鑒精密儀器有限公司申請(qǐng)的專利大孔徑且低畸變的F-theta紫外場(chǎng)鏡裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112817128B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110137217.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G02B13/00；該發(fā)明授權(quán)大孔徑且低畸變的F-theta紫外場(chǎng)鏡裝置是由谷朝臣;韓進(jìn)厚;程昊;谷朝榜;秦文材設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-02-01向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本大孔徑且低畸變的F-theta紫外場(chǎng)鏡裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種大孔徑且低畸變的F?theta紫外場(chǎng)鏡裝置，包括：第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡；所述第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡從激光入射方向到聚焦平面依次排布；所述第一透鏡采用凹向激光入射方向的平凹透鏡或凸凹透鏡；所述第二透鏡采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡；所述第三透鏡、第四透鏡采用雙凸透鏡；所述第五透鏡采用雙凹透鏡或者平凹透鏡。本發(fā)明提供的大孔徑、低畸變F?theta紫外場(chǎng)鏡，在有效保證入射光束直徑的前提下，實(shí)現(xiàn)了大視場(chǎng)、低畸變、高質(zhì)量掃描。

本發(fā)明授權(quán)大孔徑且低畸變的F-theta紫外場(chǎng)鏡裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種大孔徑且低畸變的F-theta紫外場(chǎng)鏡裝置，其特征在于，包括：第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡； 透鏡的數(shù)量為5個(gè)； 所述第一透鏡，第二透鏡，第三透鏡，第四透鏡，第五透鏡從激光入射方向到聚焦平面依次排布； 所述第一透鏡采用凹向激光入射方向的平凹透鏡或凸凹透鏡； 所述第二透鏡采用凸向聚焦平面的彎月形凹凸透鏡； 所述第三透鏡、第四透鏡采用雙凸透鏡； 所述第五透鏡采用雙凹透鏡或者平凹透鏡； 所述第一透鏡的焦距f1與場(chǎng)鏡焦距f的比值f1f取值范圍如下： -0.55≤f1f≤-0.35； 所述第二透鏡的焦距f2與場(chǎng)鏡焦距f的比值f2f取值范圍如下： 1.0≤f2f≤1.3； 所述第三透鏡的焦距f3與場(chǎng)鏡焦距f的比值f3f取值范圍如下： 0.5≤f3f≤0.85； 所述第四透鏡的焦距f4與場(chǎng)鏡焦距f的比值f4f、材料折射率Nd4、阿貝爾系數(shù)Vd4取值范圍如下： 0.65≤f4f≤0.9,1.45≤Nd4≤1.53，54≤Vd4≤70； 所述第五透鏡的焦距f5與場(chǎng)鏡焦距f的比值f5f、材料折射率Nd5、阿貝爾系數(shù)Vd5取值范圍如下： -1.1≤f5f≤-0.8,1.45≤Nd5≤1.53，54≤Vd5≤70。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人嘉興譜鑒精密儀器有限公司，其通訊地址為：314299 浙江省嘉興市平湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)新興二路988號(hào)7號(hào)樓103室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。