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杭州士蘭微電子股份有限公司汪建平獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州士蘭微電子股份有限公司申請的專利扭矩傳感器及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN112079327B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202010920299.8,技術(shù)領域涉及:B81B7/04;該發(fā)明授權(quán)扭矩傳感器及其制造方法是由汪建平;鄧登峰設計研發(fā)完成,并于2020-09-04向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

扭矩傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種扭矩傳感器及其制造方法,包括襯底;外延層,位于所述襯底上;多個第一摻雜區(qū)和多個第二摻雜區(qū),分別位于所述外延層中;多個第一歐姆接觸區(qū),位于所述第一摻雜區(qū)的兩端;多個第二歐姆接觸區(qū),位于所述第二摻雜區(qū)的兩端;以及第一隔離結(jié)構(gòu),位于所述外延層和所述襯底中,包圍所述第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū)。本發(fā)明的扭矩傳感器通過額外設置彎矩感測單元,同時獲得扭矩感測信號和彎矩信號,采用彎矩信號對扭矩感測信號進行補償,消除彎矩對扭矩感測信號的影響,可以提高測量的扭矩值的準確度。

本發(fā)明授權(quán)扭矩傳感器及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種扭矩傳感器,包括: 襯底; 外延層,位于所述襯底上; 多個第一摻雜區(qū)和多個第二摻雜區(qū),分別位于所述外延層中; 多個第一歐姆接觸區(qū),位于所述第一摻雜區(qū)的兩端; 多個第二歐姆接觸區(qū),位于所述第二摻雜區(qū)的兩端;以及 第一隔離結(jié)構(gòu),位于所述外延層和所述襯底中,包圍所述第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū), 其中,多個所述第一摻雜區(qū)和所述第一歐姆接觸區(qū)形成多個第一歐姆接觸電阻,所述多個第一歐姆接觸電阻構(gòu)成扭矩感測單元,輸出扭矩感測信號;多個所述第二摻雜區(qū)和所述第二歐姆接觸區(qū)形成多個第二歐姆接觸電阻,所述多個第二歐姆接觸電阻構(gòu)成彎矩感測單元,輸出彎矩感測信號。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人杭州士蘭微電子股份有限公司,其通訊地址為:310012 浙江省杭州市黃姑山路4號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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