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龍圖騰網獲悉美新半導體(天津)有限公司申請的專利MEMS諧振器的檢測電路和檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113640600B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110832638.1，技術領域涉及：G01R31/00；該發明授權MEMS諧振器的檢測電路和檢測方法是由劉堯;凌方舟;蔣樂躍;丁希聰;林武設計研發完成，并于2021-07-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本MEMS諧振器的檢測電路和檢測方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種MEMS諧振器的檢測電路和檢測方法。所述檢測電路包括：MEMS諧振器；電荷放大器，其輸出端輸出諧振感應信號；整流器，用于將所述諧振感應信號中的負值部分翻轉或斬斷得到整流后的諧振感應信號；積分器，其被配置的以設定積分時間為周期對整流后的諧振感應信號進行積分；采樣電路，采樣所述積分器的輸出得到積分采樣值；比較器，其得到數字方波信號；計數器，其以數字方波信號的預定跳變沿為觸發信號進行計數，單位時間的計數值記為N1；處理單元，其根據計數值N1和單位時間計算獲得自然諧振頻率F0，根據自然諧振頻率F0、積分采樣值計算獲得品質因子Q。這樣，可以快速的、準確的對MEMS諧振器的諧振頻率和品質因子進行測量。

本發明授權MEMS諧振器的檢測電路和檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS諧振器的檢測電路，其特征在于，其包括： MEMS諧振器，其被激勵后撤離所述激勵，以使得所述MEMS諧振器進入諧振狀態； 第一感應電容，其一端與MEMS諧振器的第一端耦接； 第二感應電容，其一端與MEMS諧振器的第二端耦接； 電荷放大器，其第一輸入端與第一感應電容的另一端耦接，其第二輸入端與第二感應電容的另一端耦接，其輸出端輸出諧振感應信號； 整流器，其輸入端耦接至所述電荷放大器的輸出端，用于將所述諧振感應信號中的負值部分翻轉或斬斷得到整流后的諧振感應信號； 積分器，其被配置的以設定積分時間為周期對整流后的諧振感應信號進行積分； 采樣電路，其被配置的采樣所述積分器輸出的諧振積分信號得到積分采樣值； 比較器，其用于將整流后的諧振感應信號與預定閾值電壓進行比較以得到數字方波信號； 計數器，其以數字方波信號的預定跳變沿為觸發信號進行計數，單位時間t_unit的計數值記為N1； 處理單元，其根據計數值N1和單位時間計算獲得MEMS諧振器的自然諧振頻率F0，根據自然諧振頻率F0、積分采樣值計算獲得品質因子Q， 在所述諧振感應信號中的負值部分被翻轉的情況下，F0=N12*t_unit；或者，在所述諧振感應信號中的負值部分被斬斷的情況下，F0=N1t_unit， 所述品質因子Q根據如下公式計算： 其中，為第個積分采樣值，大于等于2小于等于n，n為積分采樣值的個數，為第1個積分采樣值，為設定積分時間。

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