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龍圖騰網(wǎng)恭喜河南百合特種光學(xué)研究院有限公司申請的專利一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120010200B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510500693.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法是由張博;張品祥;何錄偉;劉玉偉設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-04-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法，包括一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組，該鏡組包括第一透鏡、第二透鏡、鏡筒、光纖固定座和三維調(diào)節(jié)機構(gòu)，第一透鏡和第二透鏡均為平凸透鏡，第一透鏡和第二透鏡分別設(shè)置在透鏡鏡座內(nèi)，透鏡鏡座設(shè)置在鏡筒內(nèi)，且兩透鏡的凸面相對設(shè)置，鏡筒的上端設(shè)置有光纖安裝鏡筒，光纖固定座安裝在光纖安裝鏡筒內(nèi)，三維調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置在光纖安裝鏡筒和光纖固定座之間，三維調(diào)節(jié)機構(gòu)包括旋緊螺母、固定螺母和球頭六角調(diào)節(jié)器；該鏡組的調(diào)節(jié)方法簡單，且成本低，以解決現(xiàn)有激光直接成像光刻系統(tǒng)中，由于光纖激光器出光不穩(wěn)定及調(diào)節(jié)精度不足，導(dǎo)致曝光光斑能量分布不均勻、產(chǎn)品良率降低等問題。

本發(fā)明授權(quán)一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)方法，其特征在于：包括一種提高光照均勻度的調(diào)節(jié)鏡組，該鏡組包括第一透鏡（9）、第二透鏡（10）、鏡筒（11）、光纖固定座（5）和三維調(diào)節(jié)機構(gòu)，第一透鏡（9）和第二透鏡（10）分別設(shè)置在透鏡鏡座（1）內(nèi)，透鏡鏡座（1）設(shè)置在鏡筒（11）內(nèi)，且兩透鏡的凸面相對設(shè)置，鏡筒（11）的上端設(shè)置有光纖安裝鏡筒（3），光纖固定座（5）安裝在光纖安裝鏡筒（3）內(nèi)，三維調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置在光纖安裝鏡筒（3）和光纖固定座（5）之間，三維調(diào)節(jié)機構(gòu)包括旋緊螺母（4）、固定螺母（8）和球頭六角調(diào)節(jié)器（2），固定螺母（8）設(shè)置在光纖安裝鏡筒（3）中，且光纖固定座（5）安裝在固定螺母（8）上，所述調(diào)節(jié)方法包括以下具體步驟：步驟一：安裝光學(xué)鏡組，第一透鏡（9）和第二透鏡（10）分別裝在透鏡鏡座（1）里，使第一透鏡（9）和第二透鏡（10）以凸面相對的方式通過透鏡鏡座（1）裝配在鏡筒（11）內(nèi)，形成雙透鏡組合系統(tǒng)；步驟二：三維調(diào)節(jié)機構(gòu)的安裝，把螺紋襯套（7）裝入光纖安裝鏡筒（3）中，再把球頭六角調(diào)節(jié)器（2）裝入螺紋襯套（7）內(nèi)，把光纖安裝鏡筒（3）用連接螺釘（12）固定在鏡筒（11）上，光纖固定座（5）安裝在固定螺母（8）上，固定螺母（8）放入光纖安裝鏡筒（3）內(nèi)，用球頭六角調(diào)節(jié)器（2）緊固固定螺母（8），旋緊螺母（4）旋入光纖固定座（5）上，然后擰緊螺帽（6）；步驟三：X、Y方向調(diào)節(jié)，微松其中的一個方向的球頭六角調(diào)節(jié)器（2），然后擰緊對面的球頭六角調(diào)節(jié)器（2），利用此方式調(diào)節(jié)偏心；步驟四：Z方向調(diào)節(jié)，先用扳手通過旋緊螺母調(diào)節(jié)孔（14）松動旋緊螺母（4），再用扳手通過固定座調(diào)節(jié)孔（13）旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)光纖固定座（5）高度；步驟五：鎖緊操作，完成三維調(diào)節(jié)后，利用雙螺母結(jié)構(gòu)鎖緊Z向調(diào)節(jié)位置，可以采用扳手通過旋緊螺母調(diào)節(jié)孔（14）緊固旋緊螺母（4），通過球頭六角調(diào)節(jié)器（2）鎖緊X、Y方向的調(diào)節(jié)位置，固定其位置后，再旋緊螺帽（6）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人河南百合特種光學(xué)研究院有限公司，其通訊地址為：453000 河南省新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)東卓路9號(新東光電信息產(chǎn)業(yè)園1號、2號廠房)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。