蘇州晨暉智能設備有限公司李維霞獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州晨暉智能設備有限公司申請的專利用于單晶硅拉晶的排氣裝置及單晶爐獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119877084B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510389561.3，技術領域涉及：C30B15/00；該發明授權用于單晶硅拉晶的排氣裝置及單晶爐是由李維霞;閆洪嘉;張鵬設計研發完成，并于2025-03-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于單晶硅拉晶的排氣裝置及單晶爐在說明書摘要公布了：本發明涉及單晶硅拉晶排氣技術領域，提供一種用于單晶硅拉晶的排氣裝置及單晶爐，包括導氣筒體，其特征在于：所述導氣筒體的內腔沿氣流方向形成漸擴式結構，其內腔半徑自進氣端向出氣端方向連續遞增，且所述導氣筒體的擴張角α滿足2°≤α≤12°，其中，所述擴張角為導氣筒體軸線與內壁切線之間的夾角；所述導氣筒體的內壁表面形成無階梯突變的連續流道。本發明所述的排氣裝置及單晶爐，無需外部干預的情況下同步解決氧化物沉積、爐壓波動及氧含量失控的問題。
本發明授權用于單晶硅拉晶的排氣裝置及單晶爐在權利要求書中公布了：1.一種用于單晶硅拉晶的排氣裝置，包括導氣筒體，其特征在于：所述導氣筒體的內腔沿氣流方向形成漸擴式結構，其內腔半徑自進氣端向出氣端方向連續遞增，且所述導氣筒體的擴張角α滿足2°≤α≤12°，其中，所述擴張角為導氣筒體軸線與內壁切線之間的夾角；所述導氣筒體的內壁表面形成無階梯突變的連續流道；所述漸擴式結構的擴張曲線滿足對數螺旋線；其中，對數螺旋線的極坐標方程表示為；r表示極徑；θ表示極角；a表示初始半徑尺度因子，為常數，且滿足a∈[50，150]mm；e表示自然對數的底數；b表示曲率控制因子，為常數，且滿足b∈[0.02，0.15]；所述導氣筒體至少包括兩個功能段，沿氣流方向依次為，漸擴過渡段，其長度占所述導氣筒體總長的60%-70%，其擴張角α滿足α=5°±0.5°；穩壓分離段，其長度占所述導氣筒體總長的15%-30%，其擴張角α滿足α=12°±1°。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州晨暉智能設備有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道88號G3-2401；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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