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雅馬哈智能機(jī)器控股株式會(huì)社宗像広志獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉雅馬哈智能機(jī)器控股株式會(huì)社申請(qǐng)的專利不良檢測裝置以及不良檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115769071B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202180044011.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01N29/04;該發(fā)明授權(quán)不良檢測裝置以及不良檢測方法是由宗像広志;麥可·柯比;足立卓也設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-01-21向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

不良檢測裝置以及不良檢測方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供一種不良檢測裝置以及不良檢測方法,能夠利用簡便的結(jié)構(gòu)在短時(shí)間進(jìn)行半導(dǎo)體裸片的接合面的不良檢測。不良檢測裝置,檢測半導(dǎo)體裝置的不良,且包括:超聲波喇叭,對(duì)半導(dǎo)體裝置進(jìn)行超聲波激振;激光光源,向半導(dǎo)體裝置照射平行激光光;照相機(jī),具有攝像元件,所述攝像元件拍攝經(jīng)平行激光光照射的半導(dǎo)體裝置而獲取圖像;以及檢測部,基于照相機(jī)所拍攝的圖像來進(jìn)行半導(dǎo)體裝置的不良檢測,檢測部基于照相機(jī)所獲取的半導(dǎo)體裝置的靜止時(shí)的圖像與超聲波振動(dòng)時(shí)的圖像的偏差,來進(jìn)行半導(dǎo)體裝置的不良檢測。

本發(fā)明授權(quán)不良檢測裝置以及不良檢測方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種不良檢測裝置,檢測檢查對(duì)象物的不良,其特征在于包括: 超聲波激振器,對(duì)所述檢查對(duì)象物進(jìn)行超聲波激振; 同調(diào)光源,向所述檢查對(duì)象物照射同調(diào)光; 照相機(jī),具有攝像元件,所述攝像元件拍攝經(jīng)所述同調(diào)光照射的所述檢查對(duì)象物而獲取圖像;以及 檢測部,基于所述照相機(jī)所拍攝的圖像來進(jìn)行所述檢查對(duì)象物的不良檢測, 所述照相機(jī)進(jìn)行拍攝時(shí)的曝光時(shí)間比所述檢查對(duì)象物的超聲波振動(dòng)的周期更長,獲得包含干涉圖案的圖像,所述干涉圖案是由于經(jīng)所述檢查對(duì)象物的表面反射的所述同調(diào)光干涉而產(chǎn)生, 所述檢測部基于包含所述檢查對(duì)象物的靜止時(shí)的干涉圖案的圖像與包含所述檢查對(duì)象物的超聲波振動(dòng)時(shí)的干涉圖案的圖像之間的偏差來確定振動(dòng)產(chǎn)生像素,將所確定的振動(dòng)產(chǎn)生像素密集至既定值以上的區(qū)域設(shè)定為不良區(qū)域,檢測不良,其中所述包含所述檢查對(duì)象物的靜止時(shí)的干涉圖案的圖像與所述包含所述檢查對(duì)象物的超聲波振動(dòng)時(shí)的干涉圖案的圖像是由所述照相機(jī)所獲取。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人雅馬哈智能機(jī)器控股株式會(huì)社,其通訊地址為:日本東京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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