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龍圖騰網(wǎng)獲悉雅馬哈智能機(jī)器控股株式會(huì)社申請(qǐng)的專利不良檢測裝置以及不良檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115769071B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180044011.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N29/04；該發(fā)明授權(quán)不良檢測裝置以及不良檢測方法是由宗像広志;麥可·柯比;足立卓也設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-21向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本不良檢測裝置以及不良檢測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種不良檢測裝置以及不良檢測方法，能夠利用簡便的結(jié)構(gòu)在短時(shí)間進(jìn)行半導(dǎo)體裸片的接合面的不良檢測。不良檢測裝置，檢測半導(dǎo)體裝置的不良，且包括：超聲波喇叭，對(duì)半導(dǎo)體裝置進(jìn)行超聲波激振；激光光源，向半導(dǎo)體裝置照射平行激光光；照相機(jī)，具有攝像元件，所述攝像元件拍攝經(jīng)平行激光光照射的半導(dǎo)體裝置而獲取圖像；以及檢測部，基于照相機(jī)所拍攝的圖像來進(jìn)行半導(dǎo)體裝置的不良檢測，檢測部基于照相機(jī)所獲取的半導(dǎo)體裝置的靜止時(shí)的圖像與超聲波振動(dòng)時(shí)的圖像的偏差，來進(jìn)行半導(dǎo)體裝置的不良檢測。

本發(fā)明授權(quán)不良檢測裝置以及不良檢測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種不良檢測裝置，檢測檢查對(duì)象物的不良，其特征在于包括： 超聲波激振器，對(duì)所述檢查對(duì)象物進(jìn)行超聲波激振； 同調(diào)光源，向所述檢查對(duì)象物照射同調(diào)光； 照相機(jī)，具有攝像元件，所述攝像元件拍攝經(jīng)所述同調(diào)光照射的所述檢查對(duì)象物而獲取圖像；以及 檢測部，基于所述照相機(jī)所拍攝的圖像來進(jìn)行所述檢查對(duì)象物的不良檢測， 所述照相機(jī)進(jìn)行拍攝時(shí)的曝光時(shí)間比所述檢查對(duì)象物的超聲波振動(dòng)的周期更長，獲得包含干涉圖案的圖像，所述干涉圖案是由于經(jīng)所述檢查對(duì)象物的表面反射的所述同調(diào)光干涉而產(chǎn)生， 所述檢測部基于包含所述檢查對(duì)象物的靜止時(shí)的干涉圖案的圖像與包含所述檢查對(duì)象物的超聲波振動(dòng)時(shí)的干涉圖案的圖像之間的偏差來確定振動(dòng)產(chǎn)生像素，將所確定的振動(dòng)產(chǎn)生像素密集至既定值以上的區(qū)域設(shè)定為不良區(qū)域，檢測不良，其中所述包含所述檢查對(duì)象物的靜止時(shí)的干涉圖案的圖像與所述包含所述檢查對(duì)象物的超聲波振動(dòng)時(shí)的干涉圖案的圖像是由所述照相機(jī)所獲取。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人雅馬哈智能機(jī)器控股株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。