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龍圖騰網(wǎng)獲悉雅馬哈智能機器控股株式會社申請的專利不良檢測裝置以及不良檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115769071B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202180044011.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N29/04；該發(fā)明授權(quán)不良檢測裝置以及不良檢測方法是由宗像広志;麥可·柯比;足立卓也設計研發(fā)完成，并于2021-01-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本不良檢測裝置以及不良檢測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種不良檢測裝置以及不良檢測方法，能夠利用簡便的結(jié)構(gòu)在短時間進行半導體裸片的接合面的不良檢測。不良檢測裝置，檢測半導體裝置的不良，且包括：超聲波喇叭，對半導體裝置進行超聲波激振；激光光源，向半導體裝置照射平行激光光；照相機，具有攝像元件，所述攝像元件拍攝經(jīng)平行激光光照射的半導體裝置而獲取圖像；以及檢測部，基于照相機所拍攝的圖像來進行半導體裝置的不良檢測，檢測部基于照相機所獲取的半導體裝置的靜止時的圖像與超聲波振動時的圖像的偏差，來進行半導體裝置的不良檢測。

本發(fā)明授權(quán)不良檢測裝置以及不良檢測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種不良檢測裝置，檢測檢查對象物的不良，其特征在于包括： 超聲波激振器，對所述檢查對象物進行超聲波激振； 同調(diào)光源，向所述檢查對象物照射同調(diào)光； 照相機，具有攝像元件，所述攝像元件拍攝經(jīng)所述同調(diào)光照射的所述檢查對象物而獲取圖像；以及 檢測部，基于所述照相機所拍攝的圖像來進行所述檢查對象物的不良檢測， 所述照相機進行拍攝時的曝光時間比所述檢查對象物的超聲波振動的周期更長，獲得包含干涉圖案的圖像，所述干涉圖案是由于經(jīng)所述檢查對象物的表面反射的所述同調(diào)光干涉而產(chǎn)生， 所述檢測部基于包含所述檢查對象物的靜止時的干涉圖案的圖像與包含所述檢查對象物的超聲波振動時的干涉圖案的圖像之間的偏差來確定振動產(chǎn)生像素，將所確定的振動產(chǎn)生像素密集至既定值以上的區(qū)域設定為不良區(qū)域，檢測不良，其中所述包含所述檢查對象物的靜止時的干涉圖案的圖像與所述包含所述檢查對象物的超聲波振動時的干涉圖案的圖像是由所述照相機所獲取。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人雅馬哈智能機器控股株式會社，其通訊地址為：日本東京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。