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  • 因此,本發明涉及具有被設計為表面涂層的多層的層體系(2)的基底(1),所述層體系具有包含無定形碳的外覆蓋層(3)。根據本發明,在基底(1)和覆蓋層(3)之間提供至少一個第一MoaNx支撐層(4),...
  • 本發明屬于行波管加工技術領域,具體提供了一種衰減器加工方法及設備,包括外殼、供氣組件、加熱機構、夾持機構,外殼內部形成真空腔室;供氣組件能夠向真空腔室供給正庚烷氣體;加熱機構設于真空腔室中,加熱機構能夠向外輻射熱量;夾持機構能夠定位夾持桿,...
  • 本發明涉及導電涂層技術領域,公開一種綜合漸變梯度多層耐蝕導電涂層及其制備方法和應用,包括以下制備步驟:(1)基體材料準備;(2)基體材料預處理(包括打磨拋光和氬離子刻蝕);(3)Ti過渡層制備;(4)TiN/TiNC/TiC綜合漸變梯度層制...
  • 本發明公開了一種含鎢氧化物、含硅氮化物梯度膜的制備方法,該方法包括以下步驟:選擇基板并對基板進行清洗;抽真空至基礎真空,并通入高純氬氣以及氧氣,開始濺射鎢靶,沉積一層均勻的鎢氧化物層;以低頻率濺射鈦靶,同時逐步降低鎢靶的濺射頻率,鎢靶濺射頻...
  • 本發明涉及一種基片磁控濺射鍍膜生產設備,包括機架、預真空單元、傳輸單元、預處理單元、磁控濺射工藝單元;四個單元集成安裝于機架上;預真空單元、預處理單元和磁控濺射工藝單元置于傳輸單元外部三個方位;傳輸單元通過三個基片出入口分別與預真空單元的基...
  • 本發明涉及鍍鉭裝置技術領域,且公開了一種用于鎢坩堝表面的鍍鉭裝置,包括超聲波清洗裝置,所述超聲波清洗裝置的前面安裝有控制裝置,所述控制裝置內部集成有控制系統,用于檢測鎢坩堝表面的清洗程度,本發明通過環形壓力感應器采集鎢坩堝產生的重量數據并傳...
  • 本發明屬于OLED顯示面板技術領域,公開了一種自動在線均勻膜層的鍍膜機的均勻送膜機構,包括機架,所述機架內部安裝有傳送帶,所述機架內部位于傳送帶上方位置處均安裝有鋁靶,所述機架內部位于鋁靶兩側位置處均安裝有膜厚測試儀,所述機架頂端固定安裝有...
  • 物理氣相沉積(PVD)腔室在電子器件制造工藝中在具有穿過其形成的過孔(TV)的基板上沉積薄膜。更具體地,設備和方法在TV具有高深寬比或另外以可減少濺射材料的沉積的方式成形時改進膜沉積均勻性。除了常規自頂向下濺射之外,犧牲板以材料從下方沉積到...
  • 本發明提供一種半導體鍍膜快速裝卸夾具,屬于半導體鍍膜技術領域,包括:工作臺,所述工作臺的上表面安裝有輸送軌,所述工作臺的上表面安裝有夾具架,所述夾具架的表面安裝有電動滑臺,所述電動滑臺兩個移動件的表面固定連接有夾具機構,所述工作臺的表面安裝...
  • 此處提供了在基板上沉積金屬硅化物的方法。在一些實施例中,一種在具有含硅表面的基板上沉積金屬硅化物的方法,包括:在化學氣相沉積(CVD)腔室中的等離子體區域中產生包含第一氣體的等離子體,其中等離子體區域設置在蓋加熱器與噴淋頭之間;使第一氣體流...
  • 本發明公開了一種通過過飽和技術氣相生長原子團簇的方法,包括以下步驟:對襯底進行表面處理;配置前驅體,調節氣體壓力和前驅體流量控制乙炔分解的碳原子濃度;通過梯度溫度設計、調控氣相環境的熱力學和前驅體濃度的參數,控制原子團簇成核并不斷長大,通過...
  • 本發明公開的一種鐵基表面磷酸化氮化碳涂層及其制備方法,屬于涂層防腐技術領域。首先將鐵基表面進行預處理;然后采用磷酸化液對預處理后的鐵基表面進行磷酸化處理,晾干;所述磷酸化液由磷酸、水、無水乙醇和亞鐵氰化鉀組成;最后在磷酸化處理后的鐵基表面上...
  • 本實用新型公開了一種基片臺以及鍍膜設備,其中,基片臺包括:安裝架和支撐平臺支撐臺,具有支撐面,支撐面用于支撐基片,支撐臺包括第一功能模塊,基片臺包括多個支撐臺,各支撐臺的第一功能模塊的類型不同,支撐臺可拆卸地連接于安裝架,各支撐臺能夠單獨連...
  • 本發明提供用于石油鉆井隨鉆測量儀器配件的耐沖蝕強化涂層方法,包括:步驟S1,對工件進行預處理,分析其規格型號、配件尺寸、使用環境和磨損機制;步驟S2,對工件進行探傷檢測;步驟S3,對工件表面進行清理,并通過噴砂處理增加表面粗糙度,直到工件表...
  • 一種基于波段自適應寬光譜膜層厚度監控的鍍膜方法,旨在提高光學薄膜的鍍膜質量和效率,通過逐層設計光學薄膜結構,并利用膜系設計軟件計算透過率光譜,以評估厚度變化對光學性能的影響;在鍍膜過程中,采用波段自適應監控技術,根據每層薄膜的特性和鍍膜機的...
  • 本發明涉及一種可以提高鍍鋅合金鋼板的耐蝕性和潤滑性等的表面處理溶液組合物、利用該表面處理溶液組合物進行表面處理的鍍覆鋼板以及所述鍍覆鋼板的制造方法。
  • 本發明涉及磷化處理技術,具體是一種軸承套圈的超薄超細化晶粒度磷化工藝,包括以下步驟:脫脂清洗;第一次熱水漂洗;第二次熱水漂洗;磷化處理;超聲波水漂洗;涂油;零件檢查。其中,軸承套圈磷化液酸度如下:總酸度為45~70點,游離酸度為7~12點,...
  • 本申請實施例提供一種金剛石膜的制備方法,包括以下步驟:加熱有機分子源并使得有機分子蒸發至反應腔;通過微波使得所述反應腔內的有機分子裂解形成碳氫自由基;和所述碳氫自由基沉積到高溫基底上成核,以生長形成金剛石膜。本申請實施例提供的金剛石膜的制備...
  • 本發明涉及鍍膜設備技術領域,提出了一種用于制造復合鋁箔集流體的蒸發鍍膜設備,包括支撐座,所述支撐座的中間安裝有外殼,所述外殼內安裝有電加熱管,所述電加熱管的上方設置有導熱板,所述支撐座上焊接有支撐桿,所述支撐桿的頂部焊接有第一連接板,所述第...
  • 本發明公開了一種基于三明治結構的耐液態鉛鉍腐蝕材料的篩選方法及其應用。所述三明治結構外層為目標成分薄膜,夾層為鉛鉍合金膜。篩選方法為:S1.制備三明治結構復合薄膜材料;S2.復合薄膜材料液態鉛鉍原位腐蝕;S3.腐蝕后的復合薄膜材料表征,根據...
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